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发送器(变换器)、传感器论文

ZnO/NiO异质结构薄膜乙醇传感器设计与性能研究

中文摘要第4-5页
Abstract第5页
第1章 绪论第9-16页
    1.1 课题研究的背景及意义第9页
    1.2 气敏传感器第9-11页
        1.2.1 气敏传感器概述第9-10页
        1.2.2 金属半导体氧化物气敏传感器概述第10-11页
    1.3 乙醇气敏传感器国内外研究进展第11-15页
        1.3.1 乙醇传感器的国外研究进展第11-13页
        1.3.2 乙醇传感器的国内研究进展第13-15页
    1.4 论文研究的主要内容第15页
    1.5 本章小结第15-16页
第2章 结构的制备及表征第16-32页
    2.1 溶胶凝胶法第16页
    2.2 实验药品及实验仪器第16-18页
        2.2.1 实验药品第16-17页
        2.2.2 实验仪器第17-18页
    2.3 异质结构的制备第18-24页
        2.3.1 ZnO的制备第18-20页
        2.3.2 ZnO的XRD表征第20-21页
        2.3.3 NiO的制备第21-23页
        2.3.4 NiO的XRD表征第23-24页
        2.3.5 ZnO/NiO异质结构的制备第24页
    2.4 ZnO/NiO异质结构的表征第24-27页
        2.4.1 X射线衍射分析(XRD)第24-25页
        2.4.2 扫描电子显微镜分析(SEM)第25-27页
    2.5 ZnO-NiO复合结构的制备及表征第27-31页
        2.5.1 ZnO-NiO复合结构的制备第27-29页
        2.5.2 复合结构的表征第29-31页
    2.6 本章小结第31-32页
第3章 异质结气敏机理分析与气敏元件制作第32-38页
    3.1 异质结气敏机理第32-34页
        3.1.1 异质结第32页
        3.1.2 ZnO/NiO异质结气敏机理第32-34页
    3.2 气敏元件设计与制作第34-37页
        3.2.1 气敏元件的结构第34页
        3.2.2 叉指电极的设计第34-36页
        3.2.3 气敏元件的制作工艺流程第36-37页
    3.3 本章小结第37-38页
第4章 气敏性能测试第38-54页
    4.1 气敏测试系统第38-40页
    4.2 气敏元件主要测试参数第40-41页
        4.2.1 灵敏度第40页
        4.2.2 选择性第40页
        4.2.3 工作温度第40-41页
        4.2.4 响应和恢复时间第41页
        4.2.5 稳定性第41页
    4.3 敏感元件气敏性能测试第41-53页
        4.3.1 不同烧结温度对气敏性能的影响第41-45页
        4.3.2 工作温度的测试第45-48页
        4.3.3 选择性测试第48-51页
        4.3.4 响应与恢复时间的测试第51-53页
    4.4 本章小结第53-54页
结论第54-56页
参考文献第56-62页
致谢第62页
ZnO论文 NiO论文 半导体异质结论文 溶胶凝胶论文
论文编号BS3163250,这篇论文共62
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