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低温圆片键合理论与工艺研究
 
     论文目录
 
摘要第1-6页
Abstract第6-10页
1 绪论第10-30页
   ·圆片键合的概念第10-12页
   ·圆片键合的应用第12-21页
   ·国内外研究现状第21-25页
   ·低温圆片键合技术的必要性第25-26页
   ·低温圆片键合面临的技术难题第26-28页
   ·课题来源、研究内容及论文安排第28-30页
2 低温圆片自发键合机理第30-49页
   ·低温自发键合的理论模型第31-34页
   ·影响自发键合的因素第34-40页
   ·综合判定低温圆片自发键合的标准第40-48页
   ·本章小结第48-49页
3 低温圆片键合工艺第49-68页
   ·圆片直接键合的种类第49-53页
   ·低温圆片直接键合的试验研究第53-66页
   ·本章小结第66-68页
4 低温圆片键合技术应用第68-93页
   ·激光局部硅－玻璃键合第68-83页
   ·图形圆片低温键合第83-85页
   ·低温硅－硅圆片玻璃中介键合第85-92页
   ·本章小结第92-93页
5 圆片键合质量检测第93-109页
   ·键合强度的检测第93-98页
   ·键合空洞的检测第98-107页
   ·红外透射探测系统在键合波检测中的应用第107-108页
   ·本章小结第108-109页
6 总结与展望第109-112页
   ·全文总结第109-110页
   ·今后工作的建议与展望第110-112页
致谢第112-113页
参考文献第113-120页
附录1 攻读学位期间发表学术论文目录第120-121页
附录2 攻读博士学位期间专利授权与申请情况第121页
 
 
论文编号BS1443301，这篇论文共121页
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