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DLC膜在低辐射玻璃上的应用及氟化DLC膜性能研究

论文目录

摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
第1章前言	第8-16页
·类金刚石薄膜概述	第8-11页
·类金刚石薄膜的结构和性能	第8-9页
·类金刚石薄膜的分类	第9-10页
·氢化类金刚石薄膜的生长机理	第10-11页
·氟化类金刚石薄膜	第11-13页
·氟化类金刚石薄膜的制备方法	第12页
·氟化类金刚石薄膜的性能	第12-13页
·低辐射玻璃	第13-14页
·选题背景	第14-15页
·本论文的主要研究内容	第15-16页
第2章实验内容	第16-22页
·镀膜设备	第16-17页
·PECVD 原理	第16页
·RF-PECVD 设备	第16-17页
·样品制备	第17-19页
·在低辐射玻璃表面沉积 DLC 薄膜	第17-18页
·氟化类金刚石薄膜的制备	第18-19页
·测试与表征	第19-22页
·沉积了类金刚石薄膜的低辐射玻璃的测试与表征	第20页
·氟化类金刚石薄膜的测试与表征	第20-22页
第3章 DLC 薄膜对 Low-E 玻璃可加工性能的影响	第22-31页
·摩擦磨损实验	第22-24页
·耐酸碱实验	第24-25页
·DLC 薄膜对 Low-E 玻璃辐射率及光学性能影响	第25-30页
·本章总结	第30-31页
第4章 F-DLC 薄膜的制备与性能研究	第31-54页
·体相掺杂法制备氟化类金刚石薄膜	第31-41页
·水接触角测试	第31-33页
·沉积速率	第33页
·X 射线光电子能谱分析	第33-36页
·表面形貌和粗糙度分析	第36-38页
·拉曼图谱分析	第38-39页
·摩擦磨损实验	第39-41页
·表面氟化法制备氟化类金刚石薄膜	第41-50页
·水接触角测试	第41-43页
·刻蚀速率和自偏压	第43页
·X 射线光电子能谱分析	第43-45页
·表面形貌和粗糙度分析	第45-47页
·拉曼图谱分析	第47-48页
·摩擦磨损实验	第48-50页
·F-DLC 薄膜水接触角影响因素综合分析	第50-51页
·F-DLC 薄膜摩擦磨损性能综合分析	第51-52页
·本章总结	第52-54页
结论	第54-55页
参考文献	第55-59页
在读期间发表论文	第59-60页
致谢	第60页

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