| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-24页 |
| ·类金刚石碳膜 | 第9-11页 |
| ·类金刚石碳膜的结构 | 第9-10页 |
| ·类金刚石碳膜的研究发展过程 | 第10-11页 |
| ·类金刚石碳膜性能与应用领域 | 第11-14页 |
| ·类金刚石碳膜常用的制备方法 | 第14-19页 |
| ·物理气相沉积法 | 第14-16页 |
| ·化学气相沉积法 | 第16-19页 |
| ·DLC膜目前存在的主要问题 | 第19-20页 |
| ·类金刚石膜掺杂的研究现状 | 第20-22页 |
| ·对疏水性的影响 | 第20页 |
| ·对光学性能的影响 | 第20-21页 |
| ·对摩擦、磨损性能的影响 | 第21页 |
| ·对电学性能的影响 | 第21-22页 |
| ·对热稳定性的影响 | 第22页 |
| ·对力学性能的影响 | 第22页 |
| ·对生物相容性的影响 | 第22页 |
| ·本课题的研究背景及意义 | 第22-23页 |
| ·本课题的研究内容 | 第23-24页 |
| 第二章 掺硅类金刚石碳膜的制备及表征方法 | 第24-28页 |
| ·引言 | 第24页 |
| ·掺硅类金刚石碳膜的镀膜设备 | 第24-25页 |
| ·样品分析测试方法 | 第25-28页 |
| ·膜厚测量 | 第25页 |
| ·X射线光电子能谱(XPS) | 第25-26页 |
| ·傅里叶变换红外光谱(FTIR) | 第26页 |
| ·紫外可见光谱(UV-VIS) | 第26-27页 |
| ·热分析仪测试 | 第27-28页 |
| 第三章 掺硅类金刚石碳膜结构表征 | 第28-47页 |
| ·掺硅类金刚石碳膜的沉积速率 | 第28-31页 |
| ·T_2B/H_2流量比对掺硅DLC膜沉积速率的影响 | 第28-29页 |
| ·压强对掺硅DLC膜的沉积速率影响 | 第29-30页 |
| ·功率对掺硅DLC膜的沉积速率影响 | 第30-31页 |
| ·掺硅类金刚石碳膜的傅里叶变换红外光谱研究 | 第31-35页 |
| ·T_2B/H_2流量比对掺硅DLC膜红外光谱的影响 | 第31-33页 |
| ·压强对掺硅DLC膜红外光谱的影响 | 第33-34页 |
| ·射频功率对掺硅DLC膜红外光谱的影响 | 第34-35页 |
| ·掺硅类金刚石碳膜的XPS光谱研究 | 第35-41页 |
| ·T_2B/H_2流量比对掺硅DLC膜XPS光谱的影响 | 第35-38页 |
| ·压强对掺硅DLC膜XPS光谱的影响 | 第38-41页 |
| ·四甲基硅烷流量对掺硅类金刚石碳膜的结构影响 | 第41-47页 |
| ·薄膜的傅立叶变换红外光谱 | 第42-43页 |
| ·薄膜的X射线光电子能谱(XPS) | 第43-47页 |
| 第四章 掺硅类金刚石碳膜的紫外-可见光谱及热稳定性分析 | 第47-59页 |
| ·掺硅类金刚石碳膜的紫外-可见光光谱研究 | 第47-52页 |
| ·工作气压对掺硅DLC膜紫外-可见光光谱的影响 | 第47-49页 |
| ·T_2B/H_2流量比对掺硅DLC膜紫外-可见光光谱的影响 | 第49-50页 |
| ·射频功率对掺硅DLC膜紫外-可见光光谱的影响 | 第50-52页 |
| ·掺硅类金刚石碳膜热稳定性研究 | 第52-59页 |
| ·T_2B/H_2流量比对掺硅DLC膜热稳定性的影响 | 第52-55页 |
| ·压强对掺硅DLC薄膜热稳定性的影响 | 第55-59页 |
| 第五章 结论与展望 | 第59-61页 |
| ·主要结论 | 第59-60页 |
| ·后续研究工作的展望 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 附录 | 第73页 |
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