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容性耦合硅烷放电中纳米尺度尘埃颗粒生长机制及输运过程模拟 |
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| 摘要 | 第1-6页 | | Abstract | 第6-11页 | | 1 引言 | 第11-23页 | | ·尘埃等离子体简介 | 第11-15页 | | ·尘埃等离子体定义 | 第11页 | | ·尘埃等离子体研究概况 | 第11-13页 | | ·材料表面处理加工中的尘埃等离子体 | 第13-15页 | | ·薄膜太阳能电池制备工艺 | 第15-18页 | | ·非晶硅薄膜沉积—射频PECVD | 第16页 | | ·多晶硅或微晶硅薄膜沉积—甚高频PECVD | 第16-17页 | | ·PECVD等离子体空间均匀性的控制 | 第17-18页 | | ·硅烷放电的研究方法及现状 | 第18-21页 | | ·硅烷放电的研究方法 | 第18-19页 | | ·相关模拟研究进展 | 第19-20页 | | ·相关实验研究进展 | 第20-21页 | | ·待解决的问题及本文内容安排 | 第21-23页 | | ·硅烷放电模拟研究中尚未解决的一些问题 | 第21页 | | ·论文的整体内容安排 | 第21-23页 | | 2 尘埃颗粒的形成机制、充电和受力分析 | 第23-33页 | | ·尘埃颗粒的形成和生长 | 第23-25页 | | ·成核阶段 | 第24页 | | ·凝聚阶段 | 第24页 | | ·表面生长阶段 | 第24-25页 | | ·尘埃颗粒的充电 | 第25-29页 | | ·轨道运动限制理论 | 第25-28页 | | ·电容模型 | 第28-29页 | | ·尘埃颗粒的受力 | 第29-31页 | | ·电场力 | 第29-30页 | | ·重力 | 第30页 | | ·离子拖拽力 | 第30-31页 | | ·中性粒子拖拽力 | 第31页 | | ·热泳力 | 第31页 | | ·本章小结 | 第31-33页 | | 3 尘埃颗粒的成核过程 | 第33-53页 | | ·引言 | 第33-34页 | | ·模型描述 | 第34-44页 | | ·化学反应 | 第34-35页 | | ·尘埃颗粒的形成过程 | 第35-36页 | | ·流体力学方程 | 第36-43页 | | ·流体力学数值计算方法 | 第43-44页 | | ·模拟结果与讨论 | 第44-52页 | | ·本章小结 | 第52-53页 | | 4 尘埃颗粒的凝聚过程 | 第53-64页 | | ·引言 | 第53页 | | ·凝聚过程的模拟方法 | 第53-56页 | | ·流体力学模型及气态动力学模型 | 第53-55页 | | ·流体力学模型及气态动力学模型耦合过程 | 第55-56页 | | ·数值结果与讨论 | 第56-63页 | | ·本章小结 | 第63-64页 | | 5 甚高频放电中尘埃颗粒形成过程的二维模拟 | 第64-77页 | | ·引言 | 第64-65页 | | ·二维模型描述 | 第65-66页 | | ·计算结果与讨论 | 第66-76页 | | ·纳米颗粒的生长过程 | 第66-68页 | | ·上、下电极相位差对等离子体特性的影响 | 第68-70页 | | ·上、下电极相位差对尘埃颗粒特性的影响 | 第70-76页 | | ·本章小结 | 第76-77页 | | 6 一维低频脉冲及二维双频SiH_4/NH_3/N_2放电模拟 | 第77-93页 | | ·SiH_4/NH_3/N_2放电的背景介绍 | 第77页 | | ·—维低频脉冲SiH_4/NH_3/N_2放电模拟 | 第77-85页 | | ·基本模型 | 第78-81页 | | ·边界条件 | 第81页 | | ·结果与讨论 | 第81-85页 | | ·二维双频SiH_4/NH_3/N_2放电模拟 | 第85-92页 | | ·二维模型概述 | 第85-86页 | | ·结果与讨论 | 第86-92页 | | ·本章小结 | 第92-93页 | | 结论 | 第93-95页 | | 1 本文主要结论 | 第93页 | | 2 工作展望 | 第93-95页 | | 参考文献 | 第95-101页 | | 攻读博士学位期间发表学术论文情况 | 第101-103页 | | 创新点摘要 | 第103-104页 | | 致谢 | 第104-105页 |
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论文编号BS99210，这篇论文共105页
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