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当前位置:教育论文中心首页--硕士论文--基于有限元方法的高频SAW气体传感器建模仿真
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基于有限元方法的高频SAW气体传感器建模仿真
 
     论文目录
 
摘要第1-6页
Abstract第6-10页
第1章 绪论第10-16页
   ·课题的研究背景第10-11页
   ·SAW传感器的研究现状第11-13页
     ·SAW传感器在新领域的应用第11-12页
     ·新的基体材料的开发和应用第12-13页
     ·新型工艺及新型结构的应用第13页
     ·SAW传感器的建模仿真第13页
     ·SAW传感器的理论分析及信号处理第13页
   ·课题研究的目的及意义第13-14页
   ·课题主要研究内容第14-16页
第2章 SAW传感器的原理及应用第16-34页
   ·SAW理论介绍第16-24页
     ·各向同性固体中的弹性表面波第16-20页
     ·压电各向异性固体中的弹性表面波第20-24页
   ·SAW传感器的原理第24-29页
     ·SAW的激发和接收第24-26页
     ·SAW传感器的工作原理第26-29页
   ·SAW传感器的应用第29-33页
     ·SAW气体传感器第30-31页
     ·SAW压力和力矩传感器第31页
     ·SAW湿度传感器第31-32页
     ·SAW被动式无线传感器第32页
     ·SAW温度传感器第32-33页
   ·本章小结第33-34页
第3章 高频SAW气体传感器的设计第34-43页
   ·压电基底材料的选择第34-35页
   ·双通道延迟线型结构的确定第35-36页
   ·IDT的设计第36-40页
     ·IDT的周期p第36-37页
     ·IDT的叉指对数N第37-38页
     ·IDT敷金比ER和电极厚度EH第38页
     ·IDT的孔径W第38-39页
     ·输入和输出IDT的中心间距L第39页
     ·气体敏感区面积第39-40页
   ·气体选择性吸收膜的选择第40-41页
   ·传感器制作工艺设计第41-42页
   ·本章小结第42-43页
第4章 SAW传感器的有限元建模仿真第43-70页
   ·SAW传感器有限元模型的建立第43-52页
     ·有限元软件ANSYS简介第43-44页
     ·压电材料的晶体切向及材料常数第44-46页
     ·有限元模型采用的单位制第46-47页
     ·SAW传感器模型的简化及假设第47-48页
     ·SAW传感器有限元模型的建立过程第48-52页
   ·无电极压电基底表面SAW传播性质的有限元分析第52-54页
   ·传感器电极二次效应的有限元分析第54-59页
   ·传感器IDT参数提取的谐响应仿真第59-69页
     ·传感器IDT的谐振频率与逆谐振频率计算第59-65页
     ·传感器IDT的电导纳值计算第65-69页
   ·本章小结第69-70页
结论第70-72页
参考文献第72-83页
致谢第83页

 
 
论文编号BS1417661,这篇论文共83
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