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预处理与离子注入GaN外延材料的性能研究 |
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| 论文目录 |
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| 摘要 | 第1-5页 | | ABSTRACT | 第5-10页 | | 第一章 绪论 | 第10-25页 | | ·引言 | 第10-11页 | | ·GaN材料及其特征 | 第11-14页 | | ·GaN的结构及其物理性质 | 第11-13页 | | ·GaN材料的化学性质 | 第13页 | | ·GaN材料的电学性质 | 第13页 | | ·GaN材料的光学性质 | 第13-14页 | | ·GaN材料的研究历史和现状 | 第14-19页 | | ·材料制备 | 第14-16页 | | ·外延衬底的选择 | 第16-17页 | | ·GaN基材料生长面临的问题及研究进展 | 第17-19页 | | ·稀磁半导体 | 第19-24页 | | ·稀磁半导体的定义 | 第19-20页 | | ·GaN基稀磁半导体的研究 | 第20-24页 | | ·本文的主要研究内容 | 第24-25页 | | 第二章 实验设备及测试技术 | 第25-35页 | | ·主要的实验设备 | 第25-29页 | | ·MOCVD生长系统 | 第25-27页 | | ·快速热处理炉 | 第27-28页 | | ·离子注入机 | 第28-29页 | | ·材料表征技术 | 第29-35页 | | ·X射线衍射仪(XRD) | 第29-30页 | | ·扫描电子显微镜(SEM) | 第30页 | | ·原子力显微镜(AFM) | 第30-31页 | | ·拉曼散射光谱仪(Raman) | 第31页 | | ·光致发光光谱(PL) | 第31-32页 | | ·霍尔效应测试仪 | 第32-33页 | | ·振动样品磁强计(VSM) | 第33-35页 | | 第三章 衬底预处理对GaN外延层性能的影响 | 第35-49页 | | ·引言 | 第35页 | | ·蓝宝石衬底的腐蚀处理 | 第35-41页 | | ·蓝宝石的性质 | 第35-37页 | | ·蓝宝石的腐蚀 | 第37-38页 | | ·蓝宝石腐蚀温度和时间的确定 | 第38-41页 | | ·预处理衬底上的GaN外延生长 | 第41-43页 | | ·实验过程 | 第41页 | | ·预处理衬底上外延GaN的生长机理 | 第41-43页 | | ·预处理衬底对GaN外延层性能的影响 | 第43-48页 | | ·预处理衬底对GaN外延层表面形貌的影响 | 第43-44页 | | ·预处理衬底对GaN外延层缺陷密度的影响 | 第44-46页 | | ·预处理衬底对GaN外延层中应力的影响 | 第46-48页 | | ·本章小结 | 第48-49页 | | 第四章 快速热处理对GaN外延层性能的影响 | 第49-56页 | | ·引言 | 第49页 | | ·实验过程 | 第49-50页 | | ·快速热处理对GaN外延层性能的影响 | 第50-55页 | | ·快速热处理对GaN外延层晶体结构的影响 | 第50-51页 | | ·快速热处理对GaN外延层中应力的影响 | 第51-52页 | | ·快速热处理对GaN外延层电学性能的影响 | 第52-54页 | | ·快速热处理对GaN外延层光学性能的影响 | 第54-55页 | | ·本章小结 | 第55-56页 | | 第五章 Fe、Ni离子注入对GaN外延层性能的影响 | 第56-73页 | | ·引言 | 第56页 | | ·实验过程 | 第56-58页 | | ·样品制备 | 第56-57页 | | ·GaN样品的离子注入 | 第57页 | | ·离子注入GaN的退火 | 第57-58页 | | ·Fe、Ni离子注入对GaN外延层性能的影响 | 第58-72页 | | ·Fe、Ni离子注入对GaN外延层表面形貌的影响 | 第58-63页 | | ·Fe、Ni离子注入对GaN外延层结构的影响 | 第63-66页 | | ·Fe、Ni离子注入对GaN外延层磁学性能的影响 | 第66-72页 | | ·本章小结 | 第72-73页 | | 第六章 结论 | 第73-75页 | | 参考文献 | 第75-83页 | | 攻读学位期间所取得的相关科研成果 | 第83-84页 | | 致谢 | 第84页 |
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论文编号BS1661，这篇论文共84页
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