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高k栅介质层MOS电容式硅基电光调制器的研究与设计
 
     论文目录
 
摘要第1-5页
Abstract第5-8页
1 绪论第8-12页
   ·引言第8页
   ·几种电光调制器简介第8-9页
   ·硅基电光调制器发展概述第9-10页
   ·本文的工作第10-12页
2 硅基电光调制器的理论基础第12-21页
   ·自由载流子等离子色散效应第12-14页
   ·载流子浓度调制方式第14-17页
   ·硅基电光调制器的几种光学结构第17-18页
   ·Mach-Zehnder 干涉型硅基电光调制器第18-19页
   ·主要性能参数第19-21页
3 硅基电光调制器参数对性能影响的研究第21-31页
   ·仿真软件介绍第21-22页
   ·载流子注入式硅基电光调制器第22-25页
   ·载流子耗尽式硅基电光调制器第25-27页
   ·MOS电容式电光调制器第27-31页
4 高K栅介质层MOS电容式硅基电光调制器的研究与设计第31-48页
   ·栅介质层介电常数对器件性能的影响第31-35页
   ·高K材料第35-36页
   ·对称式高K栅介质层MOS电容式硅基电光调制器第36-42页
   ·优化的传统式高K栅介质层MOS电容式硅基电光调制器第42-47页
   ·总结第47-48页
5 总结与展望第48-49页
致谢第49-50页
参考文献第50-54页
附录1 攻读学位期间发表论文目录第54页

 
 
论文编号BS1704462,这篇论文共54
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