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离焦飞秒激光在硅上烧蚀的研究 |
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| 论文目录 |
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| 摘要 | 第4-5页 | | Abstract | 第5页 | | 1 绪论 | 第8-15页 | | 1.1 超短脉冲激光的发展史 | 第8-9页 | | 1.2 激光的基本原理 | 第9-11页 | | 1.3 飞秒激光与物质的相互作用 | 第11-14页 | | 1.4 本文研究的主要内容和意义 | 第14-15页 | | 2 飞秒激光硅上烧蚀的研究 | 第15-23页 | | 2.1 飞秒激光加工系统 | 第15-18页 | | 2.1.1 飞秒激光 | 第15页 | | 2.1.2 激光系统 | 第15-16页 | | 2.1.3 物镜 | 第16页 | | 2.1.4 CCD观测系统 | 第16-17页 | | 2.1.5 实验光路 | 第17-18页 | | 2.2 硅表面烧蚀阈值测量 | 第18-23页 | | 3 飞秒激光硅上线加工的研究 | 第23-34页 | | 3.1 激光功率的影响 | 第23-25页 | | 3.2 激光频率的影响 | 第25-26页 | | 3.3 参数优化 | 第26-27页 | | 3.4 氢氟酸腐蚀的作用 | 第27-28页 | | 3.5 飞秒激光离焦划线 | 第28-34页 | | 3.5.1 飞秒激光离焦白线形貌 | 第28-29页 | | 3.5.2 飞秒激光离焦白线的构成 | 第29-32页 | | 3.5.3 飞秒激光离焦加工 | 第32-34页 | | 4 飞秒激光诱导硅表面同心环结构研究 | 第34-52页 | | 4.1 同心环的形成 | 第34-39页 | | 4.1.1 牛顿干涉成环 | 第34-36页 | | 4.1.2 自相位调制成环 | 第36-37页 | | 4.1.3 表面冲击波成环 | 第37-38页 | | 4.1.4 激光自聚焦及散焦成环 | 第38-39页 | | 4.1.5 光学元器件引入产生的环型结构 | 第39页 | | 4.2 Ⅰ型飞秒激光诱导同心环 | 第39-43页 | | 4.3 Ⅱ型飞秒激光诱导同心环 | 第43-48页 | | 4.4 浸油环境下飞秒激光诱导同心环 | 第48-52页 | | 5 总结与展望 | 第52-54页 | | 致谢 | 第54-55页 | | 参考文献 | 第55-62页 | | 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第62页 |
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论文编号BS3277962，这篇论文共62页
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