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H13钢表面PN+PECVD复合处理工艺及性能的研究 |
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论文目录 |
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摘要 | 第1-6页 | Abstract | 第6-8页 | 目录 | 第8-11页 | 第一章 绪论 | 第11-27页 | ·H13 钢的主要性能 | 第11-12页 | ·H13 钢的表面强化技术 | 第12-14页 | ·表面低温化学热处理 | 第12-13页 | ·高能束流表面处理 | 第13-14页 | ·离子渗氮技术 | 第14-17页 | ·离子渗氮的原理 | 第14-17页 | ·离子渗氮(PN)技术的主要特点 | 第17页 | ·气相沉积涂层技术 | 第17-20页 | ·化学气相沉积(CVD)技术 | 第17-19页 | ·物理气相沉积(PVD)技术 | 第19页 | ·等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术 | 第19-20页 | ·PN 与 PECVD 复合处理技术 | 第20-22页 | ·Ti(CN)与类金刚石(DLC)硬质涂层的简介 | 第22-25页 | ·Ti(CN)涂层 | 第22页 | ·DLC 涂层 | 第22-25页 | ·研究的目的及意义 | 第25页 | ·研究的主要内容 | 第25-27页 | 第二章 实验方法 | 第27-36页 | ·实验方案 | 第27-28页 | ·离子渗氮的方案选择 | 第27页 | ·离子氮化与 Ti(CN)膜复合处理实验方案选择 | 第27页 | ·DLC 膜实验方案 | 第27-28页 | ·离子氮化与 DLC 膜复合处理实验方案 | 第28页 | ·实验设备简介及材料选择 | 第28-30页 | ·离子渗氮及镀膜实验设备简介 | 第28页 | ·基体材料 | 第28-29页 | ·Ti 源的选择 | 第29-30页 | ·碳源的选择 | 第30页 | ·结构及性能检测 | 第30-36页 | ·表面形貌及截面形貌观测 | 第30页 | ·X 射线衍射物相分析 | 第30-31页 | ·Raman 光谱分析 | 第31-32页 | ·X 射线光电子能谱(XPS)分析 | 第32-33页 | ·显微硬度测试 | 第33-34页 | ·薄膜的膜/基结合力分析 | 第34-35页 | ·摩擦磨损测试 | 第35-36页 | 第三章 H13 钢离子渗氮与 MOPCVD 镀 Ti(CN)膜复合处理 | 第36-49页 | ·H13 的离子氮化 | 第36-39页 | ·Ar 离子轰击对离子渗氮白亮层厚度的影响 | 第36-38页 | ·Ar 离子轰击对渗氮层表面硬度的影响 | 第38-39页 | ·MOPCVD 沉积 Ti(CN)膜的形貌 | 第39-40页 | ·Ti(CN)膜的表面形貌 | 第39-40页 | ·Ti(CN)膜的截面形貌 | 第40页 | ·H13 钢不同处理后的硬度 | 第40-41页 | ·H13 钢不同预处理对 Ti(CN)涂层与基体结合力的影响 | 第41-43页 | ·H13 钢不同表面处理后的摩擦磨损性能 | 第43-48页 | ·常温摩擦磨损性能 | 第43-45页 | ·高温摩擦磨损性能 | 第45-48页 | ·本章小结 | 第48-49页 | 第四章 H13 钢离子渗氮与 PECVD 镀 DLC 膜复合处理 | 第49-78页 | ·样品制备 | 第49页 | ·膜层的拉曼光谱(Raman)分析 | 第49-56页 | ·负偏压对膜层结构的影响 | 第50-53页 | ·气氛对膜层结构的影响 | 第53-56页 | ·膜层的 X 射线光电子能谱(XPS)分析 | 第56-63页 | ·负偏压对膜层组分的影响 | 第56-60页 | ·气氛对膜层组分的影响 | 第60-63页 | ·工艺参数对膜层厚度及截面形貌的影响 | 第63-65页 | ·负偏压对膜层厚度及截面形貌的影响 | 第63-65页 | ·气氛对膜层厚度及截面形貌的影响 | 第65页 | ·工艺参数对膜层硬度的影响 | 第65-67页 | ·负偏压对膜层硬度的影响 | 第66页 | ·气氛对膜层硬度的影响 | 第66-67页 | ·工艺参数对膜层摩擦系数的影响 | 第67-73页 | ·负偏压对膜层摩擦系数的影响 | 第67-71页 | ·气氛对膜层摩擦系数的影响 | 第71-73页 | ·H13 钢离子渗氮与 PECVD 镀 DLC 膜的复合处理 | 第73-77页 | ·膜层的 Raman 光谱分析 | 第73-74页 | ·复合处理对表面硬度的影响 | 第74-75页 | ·复合处理对膜/基结合力的影响 | 第75-76页 | ·摩擦学性能 | 第76-77页 | ·本章小结 | 第77-78页 | 结论与展望 | 第78-80页 | 结论 | 第78-79页 | 展望 | 第79-80页 | 参考文献 | 第80-86页 | 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第86-87页 | 致谢 | 第87-88页 | 附件 | 第88页 |
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