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当前位置:教育论文中心首页--硕士论文--多晶硅还原炉循环氢气吸附脱除磷化氢研究
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多晶硅还原炉循环氢气吸附脱除磷化氢研究
 
     论文目录
 
摘要第4-5页
abstract第5-6页
第一章 绪论第9-22页
    1.1 研究背景第9-13页
        1.1.1 硅的简介第9页
        1.1.2 硅的性质第9-11页
        1.1.3 硅的用途第11页
        1.1.4 硅材料工业概况第11-13页
    1.2 多晶硅的主要生产工艺概况第13-16页
        1.2.1 SiCl_4法第13页
        1.2.2 冶金法第13-14页
        1.2.3 硅烷热分解法第14-15页
        1.2.4 改良西门子法第15-16页
    1.3 改良西门子法工艺三氯氢硅提纯过程中的杂质问题第16-19页
        1.3.1 三氯氢硅合成工艺流程第16-18页
        1.3.2 三氯氢硅中杂质含量分析第18-19页
        1.3.3 三氯氢硅的提纯方法简介第19页
    1.4 改良西门子法工艺还原尾气的回收利用过程中的杂质问题第19-21页
        1.4.1 还原尾气回收的作用和意义第19-20页
        1.4.2 还原尾气干法回收的工艺过程第20页
        1.4.3 循环氢气中的杂质种类及来源第20-21页
    1.5 本文研究的内容及意义第21-22页
第二章 磷化氢的脱除概述第22-30页
    2.1 磷化氢的简介第22-24页
        2.1.1 磷化氢的结构,物化以及毒理性质第22-23页
        2.1.2 磷化氢的检测方法第23页
        2.1.3 磷化氢中毒的急救措施第23-24页
    2.2 磷化氢脱除技术研究进展第24-30页
        2.2.1 湿法脱除第24页
        2.2.2 干法脱除第24-29页
        2.2.3 激光法除磷化氢第29-30页
第三章 改性 13X分子筛吸附脱除磷化氢研究第30-56页
    3.1 13X分子筛简介第30页
    3.2 氯化锌改性 13X分子筛对磷化氢的吸附第30-40页
        3.2.1 ZnCl_2-13X分子筛的制备第30-31页
        3.2.2 ZnCl_2-13X分子筛的表征第31-35页
        3.2.3 ZnCl_2-13X分子筛对磷化氢吸附实验的实施第35-36页
        3.2.4 ZnCl_2-13X分子筛吸附磷化氢实验效果探讨第36-40页
    3.3 氯化铜改性 13X分子筛对磷化氢的吸附第40-45页
        3.3.1 CuCl_2-13X分子筛的制备第40页
        3.3.2 CuCl_2-13X分子筛的表征第40-42页
        3.3.3 CuCl_2-13X分子筛吸附磷化氢实验效果探讨第42-45页
    3.4 ZnCl_2-13X,Cu-13X分子筛吸附磷化氢作用机理探讨第45-50页
    3.5 ZnCl_2-13X,Cu-13X吸附剂再生性能研究第50-55页
    3.6 本章小结第55-56页
第四章 铜改性不同吸附剂载体吸附脱除磷化氢的研究第56-65页
    4.1 氯化铜,硝酸铜改性活性炭,13X分子筛对磷化氢的吸附第56-64页
        4.1.1 CuCl_2-13X/AC,Cu(NO_3)_2-13X/AC吸附剂的制备第56页
        4.1.2 CuCl_2-13X/AC,Cu(NO_3)_2-13X/AC分子筛吸附磷化氢实验效果探讨第56-63页
        4.1.3 CuCl_2-13X/AC,Cu(NO_3)_2-13X/AC分子筛吸附磷化氢作用机理探讨第63-64页
    4.2 本章小结第64-65页
第五章 结论与展望第65-67页
    5.1 结论第65页
    5.2 展望第65-67页
参考文献第67-73页
发表论文和参加科研情况说明第73-74页
致谢第74-75页

 
 
论文编号BS2841214,这篇论文共75
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