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双频容性耦合等离子体鞘层特性的流体力学模拟
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双频容性耦合等离子体鞘层特性的流体力学模拟
论文目录
摘要
第1-5页
Abstract
第5-7页
目录
第7-8页
第一章 绪论
第8-16页
·等离子体鞘层的研究背景及意义
第8-10页
·双频容性耦合等离子体鞘层的工作原理
第10-12页
·双频容性耦合等离子体鞘层的研究现状
第12-15页
·本文的研究内容和结构安排
第15-16页
第二章 Ar等离子体鞘层特性的一维流体力学模拟
第16-27页
·引言
第16页
·理论模型
第16-19页
·数值方法
第19-21页
·计算结果及讨论
第21-26页
·本章小结
第26-27页
第三章 Ar等离子体鞘层特性的二维流体力学模拟
第27-41页
·引言
第27页
·理论模型
第27-31页
·数值方法
第31页
·计算结果与讨论
第31-40页
·本章小结
第40-41页
第四章 结论与展望
第41-43页
·本文主要结论
第41页
·对未来工作的展望
第41-43页
参考文献
第43-48页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况
第48-49页
致谢
第49-50页
论文编号
BS1662265
,这篇论文共
50
页
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17.5
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