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双频容性耦合等离子体鞘层特性的流体力学模拟
 
     论文目录
 
摘要第1-5页
Abstract第5-7页
目录第7-8页
第一章 绪论第8-16页
   ·等离子体鞘层的研究背景及意义第8-10页
   ·双频容性耦合等离子体鞘层的工作原理第10-12页
   ·双频容性耦合等离子体鞘层的研究现状第12-15页
   ·本文的研究内容和结构安排第15-16页
第二章 Ar等离子体鞘层特性的一维流体力学模拟第16-27页
   ·引言第16页
   ·理论模型第16-19页
   ·数值方法第19-21页
   ·计算结果及讨论第21-26页
   ·本章小结第26-27页
第三章 Ar等离子体鞘层特性的二维流体力学模拟第27-41页
   ·引言第27页
   ·理论模型第27-31页
   ·数值方法第31页
   ·计算结果与讨论第31-40页
   ·本章小结第40-41页
第四章 结论与展望第41-43页
   ·本文主要结论第41页
   ·对未来工作的展望第41-43页
参考文献第43-48页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况第48-49页
致谢第49-50页

 
 
论文编号BS1662265,这篇论文共50
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