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A1GaInP大功率红光发光二极管的研发
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A1GaInP大功率红光发光二极管的研发
论文目录
摘要
第1-5页
Abstract
第5-7页
1 绪论
第7-17页
·课题研究的背景及意义
第7-11页
·AlGaInP发光二极管的国内外发展现状与趋势
第11-17页
2 红光高亮大功率发光二极管基本工艺技术的设计
第17-30页
·红光高亮大功率发光二极管的基本结构设计
第17-19页
·外延材料的生长
第19-26页
·外延片制造技术基本原理
第19-20页
·AlGaInP外延材料能带结构
第20-21页
·关键技术及创新点
第21-22页
·主要技术路线
第22-26页
·红光高亮大功率发光二极管器件的制备工艺流程
第26-28页
·本章小结
第28-30页
3 红光高亮大功率发光二极管关键工艺技术的改进
第30-50页
·ODR全方位反射镜的设计
第30-33页
·欧姆接触层的研究
第33-35页
·P型欧姆接触
第33-35页
·N型欧姆接触
第35页
·P/N面电极的设计
第35-41页
·P面触点设计
第36-40页
·N电极的设计
第40-41页
·PAD结构优化
第41页
·高透过率导电层ITO的研究
第41-45页
·表面粗化技术
第45-47页
·本章小结
第47-50页
结论
第50-51页
参考文献
第51-53页
致谢
第53-54页
论文编号
BS2233166
,这篇论文共
54
页
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