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半导体环形激光器的研究

论文目录

摘要	第1-4页
ABSTRACT	第4-8页
第一章引言	第8-17页
·研究目的和研究动机	第8页
·全光双稳态的研究历史与进展	第8-9页
·半导体环形激光器的工作原理	第9-11页
·半导体环形激光器的应用	第11-13页
·光存储——双稳态特性	第11-12页
·光逻辑——单稳态特性	第12-13页
·半导体环形激光器的研究历史	第13-14页
·本课题的研究背景和本论文的主要内容	第14-17页
第二章半导体环形激光器的材料	第17-27页
·半导体激光器材料的三个主要发展阶段	第17-18页
·半导体量子阱激光器材料的基本原理	第18-20页
·半导体量子阱激光器材料的分别限制结构	第20页
·半导体量子阱激光器材料的四元系材料结构	第20-22页
·半导体量子阱激光器材料的应变量子阱结构	第22-24页
·半导体环形激光器的材料结构	第24-27页
第三章半导体环形激光器的器件设计	第27-42页
·器件设计的总体考虑	第27-28页
·环形波导的几何尺寸	第28-29页
·脊形波导	第29-35页
·浅刻蚀波导的设计	第30-32页
·深刻蚀波导的设计	第32-35页
·波导的耦合	第35-38页
·输出波导（bus 波导）	第38-39页
·环形激光器的电极	第39-40页
·实际设计的版图	第40-42页
第四章半导体环形激光器的制作工艺	第42-56页
·工艺流程	第42页
·实验芯片的准备	第42-44页
·隔离槽的制作	第44-46页
·波导的制作	第46-53页
·Si0_2刻蚀掩膜	第47-49页
·干法刻蚀脊形波导	第49-53页
·平坦化和金属电极的制作	第53-56页
·平坦化工艺	第53-54页
·金属电极的制作	第54-56页
第五章半导体环形激光器的测试与分析	第56-66页
·浅刻蚀环形激光器的测试与分析	第57-62页
·深刻蚀环形激光器的测试与分析	第62-66页
第六章结论与下一步的研究工作	第66-69页
·结论	第66-67页
·下一步的研究工作	第67-69页
参考文献	第69-75页
发表论文和参加科研情况说明	第75-76页
致谢	第76页

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