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微波ECR等离子体增强溅射制备类金刚石薄膜及沉积过程的等离子体在线诊断
 
     论文目录
 
摘要第1-5页
Abstract第5-9页
第一章 绪论第9-18页
   ·引言第9页
   ·类金刚石的结构第9-10页
   ·类金刚石的分类第10-11页
   ·类金刚石的性能第11页
   ·类金刚石薄膜的制备第11-12页
   ·类金刚石薄膜的应用第12-13页
   ·类金刚石薄膜的问题第13-14页
   ·类金刚石薄膜的研究进展第14-16页
   ·对沉积环境的等离子体诊断第16页
   ·本文的研究内容和目的第16-18页
第二章 静电探针原理第18-29页
   ·介绍第18-19页
     ·探针发展史第18页
     ·探针技术的特点和发展方向第18-19页
   ·朗缪尔单探针诊断原理第19-22页
     ·探针原理分析第20-21页
     ·等离子体参数计算第21-22页
   ·朗缪尔双探针诊断原理第22-24页
   ·悬浮谐波探针诊断原理第24-27页
     ·悬浮型探针的实验原理第25-26页
     ·悬浮谐波探针的结构第26-27页
   ·基于虚拟仪器的朗缪尔探针诊断方法第27-29页
第三章 实验设备与表征方法第29-35页
   ·实验设备第29-33页
     ·MW-ECR等离子体增强非平衡磁控溅射装置第29-31页
     ·本文所使用的DLC薄膜制备装置第31-32页
     ·悬浮谐波探针诊断装置第32-33页
   ·薄膜测试及表征方法第33-35页
     ·拉曼光谱仪第33-34页
     ·膜厚测量仪第34-35页
第四章 悬浮谐波探针装置参数优化与实验验证第35-45页
   ·探针偏置信号幅度对悬浮谐波探针诊断结果的影响第35-39页
   ·悬浮谐波探针与朗缪尔单探针诊断结果的比较第39-42页
   ·实际工艺过程中的悬浮谐波探针诊断第42-44页
   ·本章小结第44-45页
第五章 类金刚石制备第45-56页
   ·类金刚石薄膜随沉积气压变化关系第46-49页
     ·薄膜制备过程中等离子体参数第46-48页
     ·薄膜性质与沉积气压的变化关系研究第48-49页
   ·类金刚石薄膜随靶上直流偏压的变化关系第49-55页
     ·等离子体参数随靶偏压的变化关系研究第49-51页
     ·薄膜生长速度随靶偏压变化关系研究第51-52页
     ·薄膜性质随靶偏压变化关系研究第52-55页
   ·本章小结第55-56页
结论第56-57页
参考文献第57-61页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况第61-62页
致谢第62-63页

 
 
论文编号BS167,这篇论文共63
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