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当前位置:教育论文中心首页--硕士论文--功率VDMOS器件的低温可靠性研究
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功率VDMOS器件的低温可靠性研究
 
     论文目录
 
摘要第1-6页
Abstract第6-7页
目录第7-9页
第一章 绪论第9-15页
   ·低温微电子的科学意义及应用前景第9-10页
   ·低温微电子国内外研究现状第10-12页
   ·低温微电子面临的问题第12-14页
   ·本文的主要研究工作与内容安排第14-15页
第二章 功率 VDMOS 简介第15-31页
   ·功率 VDMOS 工作原理第15-18页
     ·功率 VDMOS 结构第15-17页
     ·功率 VDMOS 工作原理第17-18页
     ·功率 VDMOS 优点及应用第18页
   ·功率 VDMOS 电特性第18-22页
     ·功率 VDMOS 转移特性第18-20页
     ·功率 VDMOS 输出特性第20-22页
   ·功率 VDMOS 主要参数第22-25页
   ·功率 VDMOS 工艺第25-29页
     ·VDMOS 工艺设计原则第25页
     ·n+衬底与 n-外延层第25-26页
     ·栅氧与多晶硅第26-27页
     ·p 体区与 n+源区第27-29页
     ·VDMOS 工艺参数选取第29页
   ·本章小结第29-31页
第三章 功率 VDMOS 相关仿真第31-57页
   ·功率 VDMOS 工艺仿真第31-36页
     ·工艺仿真流程第31-33页
     ·相关模型简介第33-36页
   ·功率 VDMOS 常温仿真第36-45页
     ·常温仿真初步结果第36-40页
     ·工艺参数对电特性影响第40-45页
   ·功率 VDMOS 低温仿真第45-54页
     ·基本参数随温度变化第45-49页
     ·漏源击穿电压BV_(DS)随温度变化第49-51页
     ·阈值电压V_(th)随温度变化第51-53页
     ·跨导g_m随温度变化第53-54页
     ·最大漏电流I_d随温度变化第54页
   ·本章小结第54-57页
第四章 热载流子相关仿真第57-65页
   ·热载流子简介第57页
   ·常温热载流子第57-62页
     ·热载流子模型介绍第57-59页
     ·常温仿真第59-62页
   ·低温热载流子第62-63页
   ·本章小结第63-65页
第五章 结论与展望第65-67页
   ·结论第65页
   ·展望第65-67页
致谢第67-69页
参考文献第69-73页
研究成果第73-74页

 
 
论文编号BS2004817,这篇论文共74
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