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激光声表面波法测量薄膜杨氏模量的理论与系统研究
 
     论文目录
 
中文摘要第1-4页
ABSTRACT第4-9页
第一章 绪论第9-25页
   ·薄膜杨氏模量测量的意义第9-10页
   ·薄膜杨氏模量测量主要技术发展现状及对比第10-18页
   ·激光声表面波法的研究现状第18-21页
   ·课题的选题意义及研究内容第21-25页
第二章 声表面波传播色散曲线理论算法研究第25-57页
   ·波动方程及弹性刚度常数第25-27页
     ·波动方程第25-26页
     ·晶体弹性刚度常数的转轴公式第26-27页
     ·弹性刚度常数与工程材料常数的关系第27页
   ·固体弹性波的有限时域差分法第27-42页
     ·FDTD:电磁场与弹性超声场的对偶关系第28-29页
     ·弹性波的有限时域差分法计算原理及流程第29-30页
     ·弹性波的有限时域差分法算法设计第30-34页
     ·算法收敛性验证第34-36页
     ·对称边界-空间变步长算法第36-41页
     ·声表面波色散曲线计算方法第41-42页
   ·薄膜参数对声表面波传播特性的影响第42-49页
     ·各向同性薄膜/衬底计算模型第42-43页
     ·各向同性薄膜参数对传播特性的影响第43-49页
   ·周期性多孔Low-k 介质薄膜参数对声表面波传播特性的影响第49-55页
     ·周期性多孔low-k 介质薄膜的计算模型第49-50页
     ·周期性多孔low-k 介质薄膜参数对传播特性的影响第50-55页
   ·小结:FDTD 算法的优势及存在的问题第55-57页
第三章 声表面波检测系统研究第57-81页
   ·系统拟解决的问题第57-59页
   ·差分共焦光偏转敏感系统的检测原理分析第59-62页
   ·差分共焦光偏转敏感声表面波检测系统设计第62-68页
     ·系统架构第62-64页
     ·系统关键技术第64-68页
   ·系统噪声分析第68-69页
   ·系统实验色散曲线计算方法第69-70页
   ·对比测试的压电声表面波检测系统设计及改进第70-81页
     ·构建对比测试系统的研究意义第70-71页
     ·PVDF 压电声表面波检测原理第71-72页
     ·PVDF 压电声表面波检测系统设计第72-76页
     ·四象限压电平头声表面波探测技术第76-81页
第四章 测量结果计算方法研究第81-91页
   ·色散曲线的最小二乘法拟合第81-83页
   ·基于自相关的曲线匹配优度判据第83-85页
   ·自相关-二分回溯逼近测量结果智能算法第85-87页
   ·测量结果自动获取过程第87-91页
第五章 实验与分析第91-115页
   ·概述第91页
   ·差分共焦光偏转敏感声表面波检测系统可重复性分析第91-95页
   ·差分共焦光偏转敏感声表面波检测系统与纳米压痕仪的对比测试第95-102页
     ·薄膜杨氏模量大于衬底的情况第95-99页
     ·薄膜杨氏模量小于衬底的情况第99-102页
     ·对比测试结论第102页
   ·差分共焦光偏转敏感检测系统与压电检测系统对硬膜的对比测试第102-108页
     ·四象限压电平头声表面波探测技术的传播方向定位性能测试第103-105页
     ·差分共焦光偏转敏感检测系统、压电检测系统对比测试第105-108页
   ·差分共焦光偏转敏感检测系统与压电检测系统对low-k 介质薄膜的对比测试第108-113页
   ·结论第113-115页
第六章 结论与展望第115-119页
   ·论文完成的主要工作第115-116页
   ·论文的创新点第116-117页
   ·工作展望第117-119页
参考文献第119-131页
发表论文和科研情况说明第131-133页
致谢第133-135页
附录一、晶体中弹性刚度常数张量的转轴公式推导第135-141页
附录二、二维弹性波动方程的有限时域差分法离散过程推导第141-145页
附录三、二维弹性波Mur 一阶吸收边界条件推导第145-149页

 
 
论文编号BS21067,这篇论文共149
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