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多晶硅核心生产装置操作仿真系统的研究与开发 |
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论文目录 |
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摘要 | 第1-6页 | Abstract | 第6-10页 | 第1章 前言 | 第10-19页 | ·课题研究背景 | 第10-11页 | ·四氯化硅制备三氯氢硅工艺研究现状 | 第11-12页 | ·四氯化硅热氢化制备三氯氢硅研究现状 | 第11-12页 | ·四氯化硅冷氢化制备三氯氢硅研究现状 | 第12页 | ·四氯化硅氯氢化制备三氯氢硅研究现状 | 第12页 | ·几种氢化方式的比较 | 第12页 | ·化工装置的仿真培训系统研究现状 | 第12-17页 | ·仿真技术与组态软件简介 | 第12-13页 | ·国内外仿真培训系统研究综述 | 第13-17页 | ·课题研究内容和应用前景 | 第17-19页 | ·课题研究内容 | 第17-18页 | ·课题应用前景 | 第18-19页 | 第2章 多晶硅核心装置操作仿真系统的需求分析与系统设计 | 第19-28页 | ·四氯化硅制备三氯氢硅冷氢化反应工艺 | 第19-20页 | ·多晶硅核心生产装置主要装置及参数 | 第20-22页 | ·冷氢化反应器 | 第20-21页 | ·STC汽化器 | 第21页 | ·反应气电加热器 | 第21-22页 | ·尾气洗涤塔 | 第22页 | ·冷氢化制备三氯氢硅的具体工作流程 | 第22-24页 | ·正常开车操作程序 | 第22-23页 | ·正常停车操作程序 | 第23-24页 | ·操作仿真系统需求分析和系统设计 | 第24-26页 | ·操作仿真系统需求分析 | 第24-25页 | ·操作仿真系统控制点和显示变量设计 | 第25-26页 | ·系统开发的程序开发平台和运行环境 | 第26-27页 | ·本章小结 | 第27-28页 | 第3章 三氯氢硅生产装置的数学模型 | 第28-38页 | ·化工过程数学模型的建模思想 | 第28页 | ·化工过程建模的方法步骤 | 第28-29页 | ·冷氢化反应器的数学模型 | 第29-31页 | ·冷氢化反应器的出口温度和中间温度 | 第29-30页 | ·冷氢化反应器的实际操作气体速度计算 | 第30页 | ·冷氢化反应器的转化率计算方法 | 第30-31页 | ·冷氢化反应器生成三氯氢硅的质量 | 第31页 | ·STC汽化器装置的数学模型 | 第31-35页 | ·STC汽化器装置数学建模分析 | 第31-32页 | ·STC汽化器数学模型的建立 | 第32页 | ·STC汽化器数学模型的求解 | 第32-34页 | ·STC汽化器的简化模型 | 第34-35页 | ·反应气电加热器的数学模型 | 第35-36页 | ·管道数学模型 | 第36-37页 | ·管道模型主要参数 | 第36页 | ·管道数学模型的建立 | 第36-37页 | ·本章小结 | 第37-38页 | 第4章 多晶硅核心生产装置后台仿真模块的开发 | 第38-49页 | ·后台仿真模块开发总述 | 第38-39页 | ·仿真模块开发环境简介 | 第38页 | ·后台仿真模块整体设计 | 第38-39页 | ·冷氢化反应器仿真模块的实现 | 第39-42页 | ·数学模型分析 | 第39-40页 | ·模块仿真程序计算方法分析 | 第40页 | ·模块仿真程序运算表达式 | 第40-41页 | ·模块仿真程序的程序代码 | 第41页 | ·模块仿真程序的界面 | 第41-42页 | ·STC汽化器仿真模块的实现 | 第42-46页 | ·数学模型分析 | 第42-43页 | ·模块仿真程序计算方法分析 | 第43页 | ·模块仿真程序运算表达式 | 第43-44页 | ·块仿真程序的程序代码 | 第44-45页 | ·模块仿真程序的界面 | 第45-46页 | ·反应气电加热器仿真模块的实现 | 第46-48页 | ·数学模型分析 | 第46页 | ·模块仿真程序计算方法分析 | 第46-47页 | ·模块仿真程序的程序代码 | 第47页 | ·模块仿真程序的界面 | 第47-48页 | ·本章小结 | 第48-49页 | 第5章 多晶硅核心装置操作仿真系统组态功能的实现 | 第49-66页 | ·紫金桥组态软件的介绍 | 第49-50页 | ·操作仿真系统主要界面开发 | 第50-52页 | ·系统的安全登录界面 | 第50页 | ·操作仿真系统主界面 | 第50-52页 | ·操作仿真系统功能的实现 | 第52-65页 | ·工程分析 | 第52-53页 | ·制作工程画面 | 第53页 | ·定义点组态 | 第53-55页 | ·动画连接 | 第55-59页 | ·编写控制流程 | 第59-61页 | ·异常报警功能的实现 | 第61-63页 | ·生产报表的输出功能实现 | 第63-65页 | ·本章小结 | 第65-66页 | 第6章 多晶硅核心生产装置操作仿真系统应用实例 | 第66-75页 | ·氮气置换仿真模块应用实例 | 第66-69页 | ·氢气置换仿真模块应用实例 | 第69-71页 | ·反应器预热仿真模块应用实例 | 第71-74页 | ·本章小结 | 第74-75页 | 第7章 总结与展望 | 第75-77页 | ·总结 | 第75页 | ·展望 | 第75-77页 | 参考文献 | 第77-79页 | 致谢 | 第79页 |
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