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当前位置:教育论文中心首页--博士论文--超深亚微米MOS器件RTS噪声研究
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超深亚微米MOS器件RTS噪声研究
 
     论文目录
 
摘要第1-4页
Abstract第4-10页
第一章 绪论第10-18页
   ·本文研究的目的和范围第10-11页
   ·RTS 噪声研究现状与局限性第11-15页
     ·RTS 噪声测量与参数的提取第11-12页
       ·RTS 噪声测量第11-12页
       ·RTS 噪声参数提取第12页
     ·RTS 噪声机理与模型第12-14页
       ·RTS 时域模型的研究第12-13页
       ·RTS 幅度模型的研究第13-14页
     ·利用RTS 噪声的边界陷阱分析方法第14-15页
   ·本文研究的主要内容和方法第15-18页
     ·RTS 噪声测量技术第15-16页
     ·RTS 机理与模型研究第16-17页
       ·超深亚微米MOS 器件RTS 噪声的时域模型第16-17页
       ·超深亚微米MOS 器件RTS 噪声的幅度模型第17页
     ·基于RTS 噪声的边界陷阱分析方法第17-18页
第二章 MOS 器件中的陷阱与噪声第18-36页
   ·MOS 器件中的陷阱第18-24页
     ·陷阱的来源第18-21页
       ·工艺引入的陷阱第18-19页
       ·应力产生的陷阱第19-21页
     ·陷阱的性质第21-24页
       ·界面陷阱第21-22页
       ·氧化层陷阱第22-24页
   ·MOS 器件中的噪声第24-30页
     ·噪声的分类第24-26页
       ·本征噪声第24-25页
       ·非本征噪声第25-26页
     ·产生-复合噪声第26-30页
       ·1/f 噪声第26-29页
       ·RTS 噪声第29-30页
   ·陷阱与RTS 噪声的关系第30-34页
     ·陷阱对载流子的俘获和发射第31-33页
     ·陷阱电荷的影响第33-34页
   ·小结第34-36页
第三章RTS 噪声测量技术研究第36-58页
   ·引言第36-37页
   ·本文研究中使用的测量方法第37-38页
     ·俘获和发射时间常数的测量第37-38页
     ·RTS 噪声电流幅度的测量第38页
   ·基于虚拟仪器的RTS 噪声测量系统第38-44页
     ·测量系统的构成第38-39页
     ·偏置与测量电路第39-41页
       ·偏置电路第39-40页
       ·信号放大第40-41页
       ·虚拟仪器第41页
     ·测量系统的使用第41-44页
       ·抗干扰措施第41-42页
       ·系统带宽引入误差第42-43页
       ·前放倍率与量化误差第43-44页
   ·数据分析方法研究第44-51页
     ·实测信号特征第44-45页
     ·时间特性提取方法第45-49页
       ·提取算法第45-48页
       ·误差分析第48-49页
     ·幅度特征提取第49-51页
       ·提取算法第50-51页
       ·误差分析第51页
   ·与传统方法对比第51-53页
     ·偏置电路第52页
     ·测量系统使用第52-53页
     ·提取算法第53页
   ·90 纳米器件的测量第53-57页
     ·样品的工艺、结构和特性第54-55页
     ·测试样片的结构第55页
     ·样品夹具第55-57页
   ·小结第57-58页
第四章 超深亚微米MOS 器件RTS 噪声时域特性研究第58-76页
   ·引言第58-59页
   ·深亚微米器件中陷阱的载流子交换模式与影响因素第59-63页
     ·MOS 结构中陷阱的载流子交换模式第59-60页
     ·多晶硅栅的建模第60-62页
     ·俘获截面第62-63页
   ·陷阱对载流子的俘获和发射机制第63-66页
     ·热激活机制第63-64页
     ·隧穿机制第64-65页
     ·热激活+隧穿机制第65-66页
   ·时域模型第66-69页
     ·偏置下的陷阱时间特征第66-68页
     ·时间特征与器件端口偏置之间的关系第68-69页
   ·实验结果与分析第69-74页
     ·测量与模拟结果第71-72页
     ·实验结果分析第72-74页
   ·小结第74-76页
第五章 超深亚微米MOS 器件RTS 噪声幅度特性研究第76-88页
   ·引言第76-77页
   ·薄栅器件中陷阱电荷对沟道的影响第77-80页
     ·薄栅器件中的载流子数涨落第78-79页
     ·薄栅器件中的迁移率涨落第79-80页
   ·幅度特性第80-84页
     ·RTS 噪声的相对幅度第80-82页
     ·幅度特性与偏置的关系第82-84页
   ·测量与模拟结果分析第84-86页
     ·实验与模拟结果第84-85页
     ·结果分析第85-86页
   ·小结第86-88页
第六章 基于RTS 噪声的陷阱分析方法研究第88-106页
   ·引言第88-89页
   ·陷阱横向位置的分析方法第89-93页
     ·分析方法第89-90页
     ·测量结果与讨论第90-93页
   ·陷阱的深度和能级的提取方法第93-98页
     ·陷阱深度信息的提取原理第94-96页
     ·测量结果与分析第96-98页
   ·陷阱激活能和俘获截面的提取方法第98-100页
     ·激活能和俘获截面的提取原理第98-100页
     ·测量结果第100页
   ·陷阱的散射系数的分析方法第100-103页
     ·散射系数的分析原理第101-102页
     ·测量结果分析与讨论第102-103页
   ·小结第103-106页
第七章 结论第106-108页
致谢第108-110页
参考文献第110-124页
研究成果第124-125页

 
 
论文编号BS750068,这篇论文共125
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