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新型薄膜晶体管的工艺研究--TIPS-pentacene薄膜晶体管的制备和工艺研究

论文目录

摘要	第1-4页
Abstract	第4-5页
目录	第5-7页
第一章绪论	第7-13页
·引言	第7页
·国内外研究状况	第7-9页
·国外研究状况	第7-8页
·国内研究状况	第8-9页
·OTFT 器件的应用与发展趋势	第9-11页
·有机薄膜晶体管中存在的问题	第11页
·论文的主要内容	第11-13页
第二章 OTFT 的介绍与相关理论	第13-25页
·有机半导体材料相关理论	第13-16页
·分子轨道理论	第13-14页
·能带理论	第14-15页
·载流子的传输理论	第15-16页
·OTFT 的结构及工作原理	第16-19页
·OTFT 的材料	第19-23页
·有源层材料	第19-21页
·绝缘层材料	第21-23页
·电极材料	第23页
·OTFT 的工艺	第23-25页
第三章 OTFT 的制备与工艺分析	第25-39页
·材料的选择	第25-26页
·OTFT 的制备工艺与所用仪器	第26-29页
·旋涂法成膜技术	第26-27页
·喷墨印刷技术	第27-29页
·制备与测试所用的材料和仪器	第29页
·影响 OTFT 性能的因素	第29-30页
·OTFT 器件的制备与有源层工艺分析	第30-38页
·浓度的影响	第31-32页
·器件结构的影响	第32-34页
·粘合剂的影响	第34页
·退火条件的影响	第34-38页
·本章小结	第38-39页
第四章 OTFT 的电学参数与评价	第39-45页
·电学特性曲线	第39-40页
·阈值电压	第40-41页
·场效应迁移率	第41-42页
·开关电流比	第42页
·结果分析	第42-45页
第五章结论与展望	第45-47页
·结论	第45页
·展望	第45-47页
致谢	第47-48页
参考文献	第48-51页
附录：作者在攻读硕士学位期间发表的论文	第51页

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