摘要 | 第4-6页 |
Abstract | 第6-7页 |
1 绪论 | 第11-24页 |
1.1 课题研究背景和意义 | 第11页 |
1.2 气敏传感器简介 | 第11-15页 |
1.2.1 气体传感器概述 | 第11-13页 |
1.2.2 气体传感器的分类 | 第13-14页 |
1.2.3 半导体金属氧化物气敏传感器 | 第14页 |
1.2.4 气体传感器常见的性能参数 | 第14-15页 |
1.3 一维Zn O纳米材料的优势 | 第15-17页 |
1.3.1 金属氧化物一维纳米材料的优势 | 第15-16页 |
1.3.2 Zn O纳米材料的基本性质 | 第16-17页 |
1.4 Zn O纳米棒的制备方法 | 第17-19页 |
1.4.1 水浴法制备Zn O纳米材料 | 第17-18页 |
1.4.2 Zn O纳米棒的生长机制 | 第18-19页 |
1.5 介电泳操控技术的工作原理及其在构建微型气敏传感器的应用 | 第19-22页 |
1.5.1 介电泳操控技术的工作原理 | 第19-21页 |
1.5.2 介电泳技术在构建微型气敏传感器的应用 | 第21-22页 |
1.6 本课题的主要研究内容和意义 | 第22-24页 |
1.6.1 主要研究思路和内容 | 第22-23页 |
1.6.2 研究意义 | 第23-24页 |
2 实验方法和表征 | 第24-33页 |
2.1 实验试剂和表征仪器 | 第24-26页 |
2.1.1 主要试剂 | 第24-25页 |
2.1.2 主要仪器和设备 | 第25-26页 |
2.2 材料表征方法 | 第26页 |
2.2.1 X射线衍射分析(XRD) | 第26页 |
2.2.2 场发射扫描电子显微镜(FE-SEM) | 第26页 |
2.2.3 透射电子显微镜(TEM) | 第26页 |
2.2.4 X射线光电子能谱(XPS) | 第26页 |
2.3 光化学沉积(photochemical deposition) | 第26-27页 |
2.4 介电泳操控Zn O纳米棒 | 第27页 |
2.5 气敏分析系统 | 第27-28页 |
2.6 水浴法制备Zn O纳米棒及其气敏特性研究 | 第28-33页 |
2.6.1 水浴法制备Zn O纳米棒 | 第28-29页 |
2.6.2 种子层对Zn O纳米棒形貌的影响 | 第29-30页 |
2.6.3 Zn O纳米棒的气敏性测试 | 第30-33页 |
3 Ag纳米颗粒修饰ZnO纳米棒的制备及其气敏特性研究 | 第33-45页 |
3.1 Ag纳米颗粒修饰Zn O纳米棒的制备和表征 | 第34-38页 |
3.1.1 Ag纳米颗粒修饰Zn O纳米棒的制备 | 第34页 |
3.1.2 Ag纳米颗粒修饰Zn O纳米棒的SEM分析 | 第34-35页 |
3.1.3 Ag纳米颗粒修饰Zn O纳米棒的EDS分析 | 第35-36页 |
3.1.4 Ag纳米颗粒修饰Zn O纳米棒的TEM分析 | 第36-37页 |
3.1.5 Ag纳米颗粒修饰Zn O纳米棒的XRD分析 | 第37页 |
3.1.6 Ag纳米颗粒修饰Zn O纳米棒的XPS分析 | 第37-38页 |
3.2 Ag纳米颗粒修饰Zn O纳米棒气敏元件的制作 | 第38-39页 |
3.2.1 镍酸镧氧化物导体电极的制作 | 第38-39页 |
3.2.2 介电泳沉积气敏材料 | 第39页 |
3.3 Zn O纳米棒的气敏性测试 | 第39-43页 |
3.3.1 不同工作温度下的气敏特性 | 第39-40页 |
3.3.2 对不同浓度的乙醇的气敏特性 | 第40-41页 |
3.3.3 最佳工作温度下对乙醇的反应曲线 | 第41-42页 |
3.3.4 气敏元件的气敏选择性 | 第42-43页 |
3.4 Ag修饰Zn O纳米棒的气敏机制 | 第43-44页 |
3.5 本章总结 | 第44-45页 |
4 CuO修饰Zn O纳米棒的制备及其气敏特性研究 | 第45-55页 |
4.1 Cu O/ZnO异质结复合材料的制备 | 第45-46页 |
4.2 Cu O/ZnO异质结复合材料的表征 | 第46-49页 |
4.2.1 CuO/Zn O异质结复合材料的SEM分析 | 第46页 |
4.2.2 CuO/Zn O异质结复合材料的EDS分析 | 第46-48页 |
4.2.3 CuO/Zn O异质结复合材料的XRD分析 | 第48页 |
4.2.4 CuO/Zn O异质结复合材料的XPS分析 | 第48-49页 |
4.3 Cu O/ZnO异质结复合材料的气敏特性 | 第49-53页 |
4.3.1 紫外光照时间对Cu O/ZnO异质结复合材料气敏性的影响 | 第49-50页 |
4.3.2 铜盐的浓度对CuO/Zn O异质结复合材料的气敏性的影响 | 第50-51页 |
4.3.3 CuO/Zn O异质结复合材料在不同工作温度下的气敏性 | 第51-52页 |
4.3.4 CuO/Zn O异质结复合材料气敏选择性 | 第52-53页 |
4.4 Cu O/ZnO异质结复合材料对硫化氢气体敏感的气敏机理 | 第53-54页 |
4.5 本章总结 | 第54-55页 |
5 MWCNT/ZnO异质结复合材料的制备及其气敏性研究 | 第55-61页 |
5.1 MWCNT/Zn O异质结复合材料的制备 | 第55-56页 |
5.2 MWCNT/Zn O异质结复合材料的表征 | 第56页 |
5.3 MWCNT/Zn O异质结复合材料的气敏特性研究 | 第56-59页 |
5.3.1 不同摩尔比MWCNT对异质结复合材料气敏性的影响 | 第56-57页 |
5.3.2 MWCNT/Zn O对不同浓度NO2的灵敏度 | 第57-59页 |
5.3.3 MWCNT/Zn O对不同气体的选择性 | 第59页 |
5.4 MWCNT/Zn O纳米棒异质结复合材料的气敏机理研究 | 第59-60页 |
5.5 本章总结 | 第60-61页 |
6 总结 | 第61-63页 |
参考文献 | 第63-70页 |
个人简历及在校期间发表的学术论文与研究成果 | 第70-71页 |
致谢 | 第71页 |