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低功耗CO气敏元件和高选择性C₂H₂气敏元件的研究

论文目录

提要	第1-7页
第一章绪论	第7-30页
·气体传感器的概述	第7-9页
·气体传感器的历史及分类	第9-13页
·微结构气体传感器及低维纳米材料发展状况与趋势	第13-27页
·微结构气体传感器发展状况与趋势	第13-20页
·低维纳米材料的发展状况与趋势	第20-27页
·本论文的研究意义及主要工作	第27-30页
·研制微结构气敏元件的意义	第27-28页
·研制乙炔气敏元件的意义	第28-30页
第二章 SnO_2敏感材料的制备及表征	第30-35页
·SnO_2敏敏感材料简介	第30-31页
·SnO_2材材料的制备	第31-32页
·制备过程	第32页
·反应原理	第32页
·SnO_2材材料的表征	第32-34页
·本章小结	第34-35页
第三章低功耗微结构CO 气敏元件的研制	第35-58页
·微结构气敏元件的结构设计及制作工艺流程	第35-48页
·微结构气敏元件的结构设计与优化	第35-46页
·微结构的制作工艺流程	第46-48页
·基于SnO_2材料的微结构CO气敏元件的制作过程	第48-50页
·微结构CO气敏元件的测试及结果	第50-57页
·气敏元件的特性参数及测试电路	第50-52页
·测试结果与功耗的讨论	第52-57页
·本章小结	第57-58页
第四章高选择性烧结型C_2H_2气敏元件的研制	第58-72页
·基于SnO_2材料的烧结型C_2H_2气敏元件的制作过程	第58-60页
·烧结型C_2H_2气敏元件的测试及结果	第60-68页
·C_2H_2气敏元件敏感机理的讨论	第68-71页
·本章小结	第71-72页
第五章结论	第72-74页
参考文献	第74-78页
摘要	第78-80页
ABSTRACT	第80-82页
硕士期间发表的论文	第82-83页
致谢	第83页

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