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扫描电子显微镜扫描系统的研究与设计
 
     论文目录
 
摘要第3-4页
Abstract第4页
第一章 引言第7-12页
    1.1 扫描电子显微镜(SEM)的发展与应用领域第7-9页
        1.1.1 电子显微镜的发展第7-8页
        1.1.2 扫描电子显微镜的应用领域第8-9页
    1.2 选题的意义第9-10页
    1.3 本论文主要研究内容及论文安排第10-12页
        1.3.1 论文的主要研究内容第10页
        1.3.2 论文主要安排第10-12页
第二章 扫描原理及扫描线圈的设计第12-20页
    2.1 扫描原理第12-15页
        2.1.1 图像的分解及扫描第12-13页
        2.1.2 放大倍数第13-14页
        2.1.3 图像清晰度第14-15页
    2.2 扫描线圈的设计第15-20页
        2.2.1 扫描线圈匝数初始设定第15-17页
        2.2.2 扫描线圈的绕制第17-18页
        2.2.3 绕制扫描线圈时要注意的问题第18-19页
        2.2.4 扫描线圈的功能验证第19-20页
第三章 扫描系统硬件设计第20-33页
    3.1 扫描分辨率调节电路第21-24页
        3.1.1 扫描分辨率调节电路第21页
        3.1.2 数模转换器LTC1668的介绍第21-23页
        3.1.3 运放OPA2134的介绍第23-24页
    3.2 放大倍数调整电路第24-29页
        3.2.1 扫描幅度控制电路第24-28页
        3.2.2 数模转换器AD5447的介绍第28-29页
    3.3 扫描偏移调整电路第29页
    3.4 加法电路第29-30页
    3.5 D/A芯片设计注意事项第30页
    3.6 基于FPGA的图像数据存储传输第30-33页
        3.6.1 Xilinx FPGA的选择第31页
        3.6.2 数据流传输FIFO的应用第31-33页
第四章 系统软件及相关算法设计第33-44页
    4.1 FPGA扫描控制软件设计及算法改进第33-39页
        4.1.1 STM32与FPGA联动控制扫描电镜行场扫描第33-37页
        4.1.2 FPGA独立控制行扫描行消隐的改进算法第37-38页
        4.1.3 FPGA行扫描锯齿波起始点的调整第38-39页
    4.2 上位机显示界面应用程序相关功能设计第39-44页
        4.2.1 上位机界面需求分析第39-42页
        4.2.2 扫描成像系统参数调整模块第42-44页
第五章 扫描系统调试结果及分析第44-53页
    5.1 FPGA行场扫描测试第44-46页
        5.1.1 FPGA独立控制行扫描行消隐波形图第44-45页
        5.1.2 FPGA控制的场扫描测试结果第45-46页
    5.2 放大倍数的校正第46-49页
    5.3 图像显示结果的问题分析第49-53页
第六章 总结与展望第53-55页
    6.1 总结第53-54页
    6.2 展望第54-55页
参考文献第55-57页
致谢第57页

 
 
论文编号BS3207321,这篇论文共57
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