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基于纳米硅的传感器研究
 
     论文目录
 
摘要第1-8页
Abstract第8-11页
图片目录第11-13页
表格目录第13-14页
第一章 绪论第14-27页
   ·引言第14-15页
   ·湿度传感器概述第15-18页
   ·电容式湿度传感器第18-21页
   ·新型纳米敏感材料-硅纳米线第21-23页
   ·本论文的主要工作第23-24页
 参考文献第24-27页
第二章 硅纳米线的湿度敏感机理第27-41页
   ·吸附理论(Adsorption theory)第27-30页
   ·气态等温吸附线(adsorption isotherms)第30-32页
   ·二氧化硅表面与水的相互作用机理第32-35页
   ·多孔湿度敏感材料的敏感机理第35-37页
   ·硅纳米线的敏感机理第37-38页
 参考文献第38-41页
第三章 湿度传感器测试系统第41-59页
   ·湿度测试系统要求第41-42页
   ·纳米硅湿度传感器测试系统第42-48页
   ·Labview虚拟仪器简介第48-52页
   ·可控温度系统第52-57页
   ·小结第57页
 参考文献第57-59页
第四章 纳米硅湿度传感器的研究第59-78页
   ·纳米硅材料的制备第59-62页
   ·纳米硅湿度传感器的制备与测试第62-66页
   ·纳米硅湿度传感器的测试结果与讨论第66-74页
   ·纳米硅湿度传感器感湿机理研究与讨论第74-76页
   ·本章小结第76-77页
 参考文献第77-78页
第五章 纳米硅湿度传感器镀镍修饰研究第78-91页
   ·硅纳米线表面镀镍第78-81页
   ·镍硅纳米线表征第81-82页
   ·镍硅纳米线湿度传感器湿敏特性研究第82-88页
   ·硅纳米线镀镍前后的比较第88-89页
   ·本章小结第89页
 参考文献第89-91页
第六章 总结及展望第91-93页
致谢第93-94页
攻读学位期间发表的学术论文目录第94页

 
 
论文编号BS530221,这篇论文共94
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