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基于纳米硅的传感器研究
论文目录
摘要
第1-8页
Abstract
第8-11页
图片目录
第11-13页
表格目录
第13-14页
第一章 绪论
第14-27页
·引言
第14-15页
·湿度传感器概述
第15-18页
·电容式湿度传感器
第18-21页
·新型纳米敏感材料-硅纳米线
第21-23页
·本论文的主要工作
第23-24页
参考文献
第24-27页
第二章 硅纳米线的湿度敏感机理
第27-41页
·吸附理论(Adsorption theory)
第27-30页
·气态等温吸附线(adsorption isotherms)
第30-32页
·二氧化硅表面与水的相互作用机理
第32-35页
·多孔湿度敏感材料的敏感机理
第35-37页
·硅纳米线的敏感机理
第37-38页
参考文献
第38-41页
第三章 湿度传感器测试系统
第41-59页
·湿度测试系统要求
第41-42页
·纳米硅湿度传感器测试系统
第42-48页
·Labview虚拟仪器简介
第48-52页
·可控温度系统
第52-57页
·小结
第57页
参考文献
第57-59页
第四章 纳米硅湿度传感器的研究
第59-78页
·纳米硅材料的制备
第59-62页
·纳米硅湿度传感器的制备与测试
第62-66页
·纳米硅湿度传感器的测试结果与讨论
第66-74页
·纳米硅湿度传感器感湿机理研究与讨论
第74-76页
·本章小结
第76-77页
参考文献
第77-78页
第五章 纳米硅湿度传感器镀镍修饰研究
第78-91页
·硅纳米线表面镀镍
第78-81页
·镍硅纳米线表征
第81-82页
·镍硅纳米线湿度传感器湿敏特性研究
第82-88页
·硅纳米线镀镍前后的比较
第88-89页
·本章小结
第89页
参考文献
第89-91页
第六章 总结及展望
第91-93页
致谢
第93-94页
攻读学位期间发表的学术论文目录
第94页
论文编号
BS530221
,这篇论文共
94
页
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