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集成电路Cu互连工艺中的Ta基扩散阻挡层研究 |
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论文目录 |
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中文摘要 | 第1-7页 | 第一章 引言 | 第7-25页 | 1.1 互连的定义和面临的挑战 | 第7-9页 | 1.2 Cu金属化 | 第9-12页 | 1.3 阻挡层材料 | 第12-17页 | 1.4 Cu互连工艺 | 第17-22页 | 1.5 Cu互连的应用和发展状况 | 第22-23页 | 1.6 本论文的主要研究工作 | 第23-25页 | 第二章 实验原理 | 第25-35页 | 2.1 样品制备方法 | 第25-28页 | 2.1.1 溅射工艺 | 第25-26页 | 2.1.2 CVD工艺. | 第26页 | 2.1.3 离子注入工艺 | 第26-28页 | 2.2 样品组织结构分析方法 | 第28-34页 | 2.2.1 电子显微镜 | 第29-34页 | 2.2.2 其他分析技术 | 第34页 | 2.3 本论文的主要实验手段 | 第34-35页 | 第三章 Ta/Cu/Ta/Si-sub系统 | 第35-62页 | 3.1 有关Ta扩散阻挡层的文献回顾 | 第35-36页 | 3.2 样品设计 | 第36页 | 3.3 实验结果与讨论 | 第36-58页 | 3.3.1 薄膜电阻四探针法测量 | 第36-37页 | 3.3.2 表面形貌SEM测量 | 第37-39页 | 3.3.3 深度分布RBS测量 | 第39-40页 | 3.3.4 界面与微结构TEM观察 | 第40-44页 | 3.3.5 氧在样品中的含量与分布 | 第44-46页 | 3.3.6 O对Cu在Ta1和Ta2层中热扩散的影响 | 第46-49页 | 3.3.7 Cu在Ta中的晶界扩散 | 第49-58页 | 3.4 热动力学讨论 | 第58-61页 | 3.5 总结 | 第61-62页 | 第四章 Cu/TaN/Si-sub系统 | 第62-77页 | 4.1 有关TaN的文献回顾 | 第62页 | 4.2 样品设计 | 第62-63页 | 4.3 实验结果与讨论 | 第63-74页 | 4.3.1 表面形貌SEM测量 | 第63-64页 | 4.3.2 深度分布RBS测量 | 第64-66页 | 4.3.3 界面与微结构TEM观察 | 第66-71页 | 4.3.4 深度分布EDS测量 | 第71-72页 | 4.3.5 Cu在TaN薄膜中的晶界扩散 | 第72-74页 | 4.4 热动力学讨论 | 第74-76页 | 4.5 总结 | 第76-77页 | 第五章 注入工艺Ta-N阻挡层 | 第77-98页 | 5.1 有关注入阻挡层的文献回顾 | 第77页 | 5.2 样品设计 | 第77-78页 | 5.3 实验结果与讨论 | 第78-95页 | 5.3.1 薄膜电阻四探针法测量 | 第78-79页 | 5.3.2 表面形貌SEM测量 | 第79-84页 | 5.3.3 深度分布RBS测量 | 第84-86页 | 5.3.4 深度分布SIMS测量 | 第86-89页 | 5.3.5 剖面样品TEM观测 | 第89-95页 | 5.4 离子注入对Ta扩散阻挡层的影响 | 第95-97页 | 5.4.1 Ta的非晶化 | 第95-96页 | 5.4.2 离子注入的损伤 | 第96-97页 | 5.5 总结 | 第97-98页 | 第六章 结论 | 第98-101页 | 参考文献 | 第101-107页 | 致谢 | 第107-108页 |
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