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MCZ-6000KC全自动网络太阳能级单晶炉传动部分设计
 
     论文目录
 
摘要第4-5页
Abstract第5页
第1章 绪论第8-12页
    1.1 课题研究背景及意义第8页
    1.2 国内外概况和发展趋势第8-10页
        1.2.1 单晶硅炉设备国内外概况第8-9页
        1.2.2 硅单晶炉的技术发展趋势第9-10页
    1.3 课题主要研究内容第10-11页
    1.4 本章小结第11-12页
第2章 单晶硅的生长工艺分析第12-19页
    2.1 单晶硅制备基础第12页
    2.2 单晶硅拉晶过程第12-17页
    2.3 新装热场的煅烧第17-18页
    2.4 单晶硅的物理检测第18页
    2.5 本章小结第18-19页
第3章 MCZ6000KC型单晶硅炉整体方案的制定第19-23页
    3.1 设备整体功能需求第19页
    3.2 产品开发的主要工作第19页
    3.3 整体结构方案制定第19-21页
    3.4 动力传动方案制定第21-22页
    3.5 本章小结第22-23页
第4章 设备关键部件的设计计算第23-34页
    4.1 主炉室部件关键尺寸的设计第23-24页
    4.2 下传动机构系统的设计计算第24-28页
        4.2.1 下传动部件的方案第24-25页
        4.2.2 设计计算第25-28页
    4.3 上传动机构系统的设计计算第28-32页
    4.4 本章小结第32-34页
第5章 传动控制系统实现方案第34-44页
    5.1 传动控制体系总体方案第34-35页
    5.2 控制系统体系结构第35-38页
        5.2.1 伺服驱动与现场总线第35-36页
        5.2.2 工控机与示教盒第36-38页
    5.3 上、下传动运动控制系统整体设计第38-43页
        5.3.1 开放式CODESYS软件开发平台第38-40页
        5.3.2 单晶硅炉整体的程序流程第40-41页
        5.3.3 单晶硅炉部分具体程序实现第41-43页
    5.4 本章小结第43-44页
第6章 电气控制系统设计第44-56页
    6.1 电气控制柜构成及控制对象第44-46页
        6.1.1 电气控制柜结构第44-45页
        6.1.2 电气柜控制对象第45-46页
    6.2 设备报警保护设计第46-47页
    6.3 加热电源柜第47-49页
        6.3.1 三段式加热第47页
        6.3.2 磷源加热和视窗加热第47-49页
    6.4 三段加热控制部分设计第49-55页
        6.4.1 欧陆818控温第49-50页
        6.4.2 温度控制电路第50-51页
        6.4.3 温度偏差对拉晶的影响第51-54页
        6.4.4 加热温度显示第54-55页
    6.5 本章小结第55-56页
结论第56-57页
参考文献第57-60页
附录第60-62页
致谢第62页

 
 
论文编号BS4076672,这篇论文共62
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