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大范围、高深—宽比扫描隧道显微镜技术研究 |
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| 论文目录 |
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| 致谢 | 第1-5页 | | 摘要 | 第5-6页 | | Abstract | 第6-7页 | | 目次 | 第7-9页 | | 第1章 绪论 | 第9-21页 | | ·课题背景与研究意义 | 第9-11页 | | ·课题背景 | 第9-10页 | | l.1.2 研究意义 | 第10-11页 | | ·国内外研究现状 | 第11-14页 | | ·微纳结构三维复杂形貌的测量技术综述 | 第12-13页 | | ·微纳结构三维复杂形貌的测量技术评述 | 第13-14页 | | ·扫描隧道显微镜的概述 | 第14-19页 | | ·纳米科技与扫描隧道显微镜 | 第14-16页 | | ·扫描隧道显微镜的工作原理 | 第16-17页 | | ·扫描隧道显微镜的系统结构 | 第17-18页 | | ·扫描隧道显微镜的优缺点 | 第18-19页 | | ·论文主要研究内容 | 第19-20页 | | ·本章小结 | 第20-21页 | | 第2章 电化学研磨法定制大长-径比扫描探针技术 | 第21-39页 | | ·电化学研磨法原理 | 第21-23页 | | ·电化学研磨法探针制备装置 | 第23-26页 | | ·总体结构 | 第23-24页 | | ·钨丝夹持机构 | 第24页 | | ·钨丝对中机构 | 第24-25页 | | ·钨丝进给机构 | 第25-26页 | | ·探针制备装置控制系统 | 第26-30页 | | ·微小电流检测电路模块 | 第26-28页 | | ·步进电机控制模块 | 第28-29页 | | ·断电控制模块及人工断电的介入 | 第29-30页 | | ·大长-径比扫描探针定制试验 | 第30-38页 | | ·基本参数的确定 | 第31-36页 | | ·探针定制试验结果 | 第36-38页 | | ·本章小结 | 第38-39页 | | 第3章 大范围、高深-宽比扫描隧道显微镜系统及其关键技术 | 第39-53页 | | ·测量系统组成及其关键技术 | 第39-45页 | | ·测量系统机械结构 | 第40-41页 | | ·扫描系统 | 第41-43页 | | ·数据采集系统 | 第43-45页 | | ·测量系统控制软件 | 第45-52页 | | ·隧道电流闭环控制 | 第45-46页 | | ·样品-探针自动进给控制 | 第46-48页 | | ·测量数据的滤波、校正 | 第48-52页 | | ·本章小结 | 第52-53页 | | 第4章 大范围、高深-宽比扫描隧道显微镜子系统性能测试分析 | 第53-67页 | | ·压电陶瓷的性能测试 | 第53-56页 | | ·系统响应测试 | 第56-60页 | | ·测量环境对系统的影响 | 第60-63页 | | ·大长-径比探针力学及动态特性检测 | 第63-66页 | | ·本章小结 | 第66-67页 | | 第5章 大范围、高深-宽比三维微纳形貌测量试验 | 第67-79页 | | ·高深-宽比正弦光栅的测试及分析 | 第67-71页 | | ·大范围方波形貌微纳结构的测量及分析 | 第71-78页 | | ·新型STM系统综合性能评价 | 第78页 | | ·本章小结 | 第78-79页 | | 第6章 总结及展望 | 第79-82页 | | ·总结 | 第79-80页 | | ·展望 | 第80-82页 | | 参考文献 | 第82-86页 | | 硕士期间发表的论文 | 第86页 |
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论文编号BS409972，这篇论文共86页
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