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当前位置:教育论文中心首页--硕士论文--新型微结构气体传感器设计分析及乙醇气敏元件的研究
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新型微结构气体传感器设计分析及乙醇气敏元件的研究
 
     论文目录
 
摘要第1-6页
Abstract第6-11页
第一章 绪论第11-21页
   ·论文的研究背景第11-12页
   ·气体传感器第12-17页
     ·气体传感器的概述第12-13页
     ·几种典型气体传感器第13-16页
     ·气体传感器的未来发展第16-17页
   ·气体敏感材料第17-20页
   ·本章小结第20-21页
第二章 微结构气体传感器及其关键技术第21-28页
   ·微机电系统与微结构气体传感器第21页
   ·微结构气体传感器的研究第21-24页
     ·微热板的概述第22-23页
     ·微热板的发展趋势第23-24页
   ·微热板设计关键技术第24-27页
     ·有限元模拟分析第24-25页
     ·ANSYS 有限元分析软件第25-26页
     ·ANSYS 分析软件的热分析第26-27页
   ·本章小结第27-28页
第三章 微热板结构设计及优化第28-50页
   ·微热板中各材料参数的选定第29-35页
     ·电极材料的选定第29-32页
     ·隔热层的选定第32-34页
     ·各材料层厚度的选定第34-35页
   ·微热板在不同电极分布下的热分析第35-44页
     ·具体电极分布下软件的热分析实例第35-41页
     ·不同加热电极宽度的温度分析第41-43页
     ·不同检测电极宽度与间隔的温度分析第43-44页
   ·衬底结构的深入讨论第44-47页
     ·衬底结构的优化分析第44-46页
     ·传感器的响应分析和工作损耗第46-47页
   ·其他电极形状的讨论第47-48页
   ·本章小结第48-50页
第四章 乙醇气敏元件的特性研究第50-57页
   ·ZnO 气敏材料的制备与表征第50-52页
   ·乙醇气敏元件的制作第52-53页
   ·乙醇气敏元件的性能测试第53-56页
     ·元件的工作温度特性第53-54页
     ·元件的响应恢复特性第54-55页
     ·元件的灵敏度-浓度特性第55页
     ·元件的选择性第55-56页
   ·本章小结第56-57页
第五章 总结和展望第57-60页
   ·论文总结第57-59页
   ·未来展望第59-60页
参考文献第60-65页
附录 各种材料的特性参数第65-66页
作者简介及科研成果第66-67页
致谢第67页

 
 
论文编号BS53874,这篇论文共67
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