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新型微结构气体传感器设计分析及乙醇气敏元件的研究
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新型微结构气体传感器设计分析及乙醇气敏元件的研究
论文目录
摘要
第1-6页
Abstract
第6-11页
第一章 绪论
第11-21页
·论文的研究背景
第11-12页
·气体传感器
第12-17页
·气体传感器的概述
第12-13页
·几种典型气体传感器
第13-16页
·气体传感器的未来发展
第16-17页
·气体敏感材料
第17-20页
·本章小结
第20-21页
第二章 微结构气体传感器及其关键技术
第21-28页
·微机电系统与微结构气体传感器
第21页
·微结构气体传感器的研究
第21-24页
·微热板的概述
第22-23页
·微热板的发展趋势
第23-24页
·微热板设计关键技术
第24-27页
·有限元模拟分析
第24-25页
·ANSYS 有限元分析软件
第25-26页
·ANSYS 分析软件的热分析
第26-27页
·本章小结
第27-28页
第三章 微热板结构设计及优化
第28-50页
·微热板中各材料参数的选定
第29-35页
·电极材料的选定
第29-32页
·隔热层的选定
第32-34页
·各材料层厚度的选定
第34-35页
·微热板在不同电极分布下的热分析
第35-44页
·具体电极分布下软件的热分析实例
第35-41页
·不同加热电极宽度的温度分析
第41-43页
·不同检测电极宽度与间隔的温度分析
第43-44页
·衬底结构的深入讨论
第44-47页
·衬底结构的优化分析
第44-46页
·传感器的响应分析和工作损耗
第46-47页
·其他电极形状的讨论
第47-48页
·本章小结
第48-50页
第四章 乙醇气敏元件的特性研究
第50-57页
·ZnO 气敏材料的制备与表征
第50-52页
·乙醇气敏元件的制作
第52-53页
·乙醇气敏元件的性能测试
第53-56页
·元件的工作温度特性
第53-54页
·元件的响应恢复特性
第54-55页
·元件的灵敏度-浓度特性
第55页
·元件的选择性
第55-56页
·本章小结
第56-57页
第五章 总结和展望
第57-60页
·论文总结
第57-59页
·未来展望
第59-60页
参考文献
第60-65页
附录 各种材料的特性参数
第65-66页
作者简介及科研成果
第66-67页
致谢
第67页
论文编号
BS53874
,这篇论文共
67
页
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23.45
元。 直接购买按0.5元/页下载,共需要支付
33.5
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