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先进EFA电性失效分析定位技术及其PFA物理验证技术研究
 
     论文目录
 
摘要第1-4页
Abstract第4-5页
引言第5-6页
第一章 绪论第6-21页
   ·失效分析技术概述第6-11页
   ·EFA电性失效定位技术简介第11-16页
   ·EFA定位后PFA物理验证及基本PFA设备简介第16-21页
第二章 EFA定位技术理论基础研究第21-39页
   ·光电效应下的PEM显微发光技术原理与其EFA应用举例第21-28页
   ·OBIRCH光致电阻率变化区技术原理与其EFA应用举例第28-32页
   ·PVC被动式电压衬度技术原理与其EFA应用举例第32-39页
第三章 PFA物理验证技术研究第39-65页
   ·EMMI捕捉到Emission Photon Spot的PFA物理验证第39-47页
   ·OBIRCH捕捉到电阻率变化区的PFA物理验证第47-54页
   ·PVC捕捉到异常点的PFA物理验证第54-57页
   ·POWER MOS功率器件EFA及其PFA物理验证方法第57-62页
   ·EFA定位后的PFA分析建议第62-65页
第四章 从微电子时代进入纳电子时代对EFA提出的新要求第65-73页
   ·EMMI与OBIRCH技术的灵活转换及应用举例第65-68页
   ·背面EMMI技术的发展及应用举例第68-70页
   ·MCT技术和InGaAs技术的发展简介第70-73页
第五章 失效分析技术总结与技术展望第73-77页
   ·Wafer Level失效分析技术总结第73-76页
   ·新形势下的EFA定位技术的挑战第76-77页
参考文献第77-79页
致谢第79-80页

 
 
论文编号BS155675,这篇论文共80
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