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低损耗BZN/BST介电薄膜及微波变容管技术研究 |
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| 论文目录 |
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| 摘要 | 第1-7页 | | ABSTRACT | 第7-11页 | | 第一章 绪论 | 第11-26页 | | ·研究背景与意义 | 第11-13页 | | ·介电可调薄膜材料及器件的研究进展 | 第13-23页 | | ·BST 薄膜材料及器件的研究概况 | 第14-19页 | | ·BST 材料简介 | 第14-16页 | | ·BST 薄膜材料的研究概况 | 第16-18页 | | ·BST 薄膜器件的研究概况 | 第18-19页 | | ·BZN 薄膜材料及器件的研究概况 | 第19-23页 | | ·BZN 材料简介 | 第19-20页 | | ·BZN 薄膜材料的研究概况 | 第20-22页 | | ·BZN 薄膜器件的研究概况 | 第22-23页 | | ·BZN/BST 复合薄膜的研究概况 | 第23页 | | ·论文的研究任务和研究内容 | 第23-26页 | | 第二章 BZN/BST 薄膜材料的研究 | 第26-56页 | | ·BZN/BST 薄膜样品的制备 | 第26-35页 | | ·薄膜制备方法、生长基底及靶材的选择 | 第26-29页 | | ·BZN/BST 薄膜的制备工艺研究 | 第29-35页 | | ·BZN/BST 薄膜的介电性能优化研究 | 第35-41页 | | ·BZN/BST 薄膜的界面效应 | 第41-45页 | | ·BZN/BST 薄膜漏电特性的研究 | 第45-55页 | | ·本章小结 | 第55-56页 | | 第三章 BZN/BST 薄膜变容管的研制 | 第56-68页 | | ·BZN/BST 介质薄膜变容管的结构设计 | 第56-63页 | | ·变容管基本结构的设计 | 第56-59页 | | ·变容管电极结构的设计与仿真 | 第59-62页 | | ·变容管的版图设计 | 第62-63页 | | ·BZN/BST 薄膜变容管的加工工艺研究 | 第63-67页 | | ·电极与介质薄膜图形化的工艺研究 | 第63-65页 | | ·BZN/BST 薄膜变容管的加工过程 | 第65-67页 | | ·本章小结 | 第67-68页 | | 第四章 BZN/BST 薄膜变容管的性能研究 | 第68-96页 | | ·BZN/BST 薄膜变容管的性能优化 | 第68-73页 | | ·BZN/BST 薄膜变容管在射频器件中的应用验证 | 第73-75页 | | ·BZN/BST 薄膜变容管的微波特性研究 | 第75-95页 | | ·变容管的高频测试方法 | 第75-77页 | | ·单端口方法测试变容管的高频性能 | 第77-86页 | | ·单端口测试样品的制备与测试 | 第77-79页 | | ·单端口方法的测试结果及分析 | 第79-86页 | | ·双端口方法测试变容管的高频性能 | 第86-95页 | | ·双端口测试样品的制备与测试 | 第86-87页 | | ·双端口方法的测试结果及分析 | 第87-95页 | | ·本章小结 | 第95-96页 | | 第五章 X 波段 BZN/BST 薄膜移相器的研制 | 第96-112页 | | ·BZN/BST 薄膜移相器的设计与仿真 | 第96-106页 | | ·BZN/BST 薄膜移相器的制备与测试 | 第106-111页 | | ·本章小结 | 第111-112页 | | 第六章 结论 | 第112-115页 | | ·主要结论 | 第112-113页 | | ·创新点 | 第113页 | | ·未来工作的建议 | 第113-115页 | | 致谢 | 第115-116页 | | 参考文献 | 第116-127页 | | 攻博期间的论文发表情况 | 第127-128页 |
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论文编号BS1961875，这篇论文共128页
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