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基于光诱导电动力学的微纳器件一体化制造方法 |
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| 论文目录 |
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| 摘要 | 第6-8页 | | abstract | 第8-9页 | | 第1章 绪论 | 第13-38页 | | 1.1 研究背景 | 第13-15页 | | 1.2 微纳米加工技术 | 第15-20页 | | 1.3 光诱导介电泳技术的研究现状 | 第20-31页 | | 1.3.1 光诱导介电泳国外研究现状 | 第20-28页 | | 1.3.2 光诱导介电泳国内研究现状 | 第28-31页 | | 1.4 柔性器件的研究现状 | 第31-35页 | | 1.5 本文的研究目标与主要研究内容 | 第35-36页 | | 1.6 本文的结构安排 | 第36-38页 | | 第2章 光诱导介电泳移动和操作微纳米颗粒 | 第38-53页 | | 2.1 引言 | 第38页 | | 2.2 光诱导介电泳简介 | 第38-44页 | | 2.2.1 介电泳原理 | 第38-41页 | | 2.2.2 光诱导介电泳原理和实验系统 | 第41-44页 | | 2.3 动态移动二氧化硅小球 | 第44-45页 | | 2.4 动态移动PEGDA模块 | 第45-48页 | | 2.5 光诱导介电泳力仿真分析 | 第48-51页 | | 2.5.1 空间电场分布 | 第48-51页 | | 2.6 本章小结 | 第51-53页 | | 第3章光诱导电化学沉积原理及仿真 | 第53-58页 | | 3.1 引言 | 第53页 | | 3.2 光诱导电极反应动力学 | 第53-56页 | | 3.2.1 电极反应原理 | 第53页 | | 3.2.2 电极反应的控制步骤 | 第53-54页 | | 3.2.3 光诱导电极反应过程 | 第54-56页 | | 3.3 光诱导电极反应仿真 | 第56-57页 | | 3.4 本章小结 | 第57-58页 | | 第4章 光诱导电化学沉积微电极参数研究 | 第58-68页 | | 4.1 引言 | 第58页 | | 4.2 光诱导电化学沉积的原理 | 第58-62页 | | 4.2.1 光诱导电化学沉积及其他沉积方式对比 | 第58-61页 | | 4.2.2 光诱导电化学沉积机理 | 第61页 | | 4.2.3 光诱导电化学沉积实验系统 | 第61-62页 | | 4.3 光诱导沉积实验结果与分析 | 第62-65页 | | 4.3.1 交流电信号频率对沉积影响 | 第62-63页 | | 4.3.2 交流电信号幅值的影响 | 第63-64页 | | 4.3.3 溶液浓度对沉积影响 | 第64页 | | 4.3.4 银电极表面分析 | 第64-65页 | | 4.4 本章小结 | 第65-68页 | | 第5章 光诱导电化学沉积金属微电极的转印柔性基底研究 | 第68-79页 | | 5.1 引言 | 第68页 | | 5.2 柔性电子学 | 第68-70页 | | 5.2.1 纳米压印技术 | 第69页 | | 5.2.2 转印技术 | 第69-70页 | | 5.3 金属微电极转印研究 | 第70-72页 | | 5.3.1 表面固化转印研究 | 第70-71页 | | 5.3.2 模板固化转印研究 | 第71-72页 | | 5.4 转印方式研究 | 第72-76页 | | 5.4.1 转印方式对比 | 第72-75页 | | 5.4.2 转印图形大小对转印影响 | 第75页 | | 5.4.3 PDMS固化时间对转印影响 | 第75-76页 | | 5.4.4 PDMS厚度对转印影响 | 第76页 | | 5.5 转印电极的电特性测量 | 第76-78页 | | 5.6 本章小结 | 第78-79页 | | 结论 | 第79-81页 | | 参考文献 | 第81-88页 | | 攻读硕士学位期间发表的论文和获得的科研成果 | 第88-89页 | | 致谢 | 第89-90页 |
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论文编号BS3390626，这篇论文共90页
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