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MEMS加速度传感器读出电路设计
 
     论文目录
 
摘要第1-5页
Abstract第5-9页
第一章 引言第9-14页
   ·MEMS 电容加速度传感器第9-10页
   ·微弱电容检测技术第10页
   ·国内外发展状况第10-11页
   ·开环加速度计与闭环加速度计第11-12页
   ·研究意义第12页
   ·本论文的主要工作第12-14页
第二章 MEMS 加速度传感器读出电路结构与工作原理第14-18页
   ·MEMS 加速度传感器读出电路系统结构第14-16页
   ·工作原理第16-17页
     ·MEMS 加速度传感器简介第16页
     ·工作原理简介第16-17页
     ·MEMS 加速度传感器读出电路设计要求第17页
   ·本章小结第17-18页
第三章 MEMS 加速度传感器读出电路时序设计第18-25页
   ·启动模式第18-21页
   ·运行模式第21-24页
   ·本章小结第24-25页
第四章 MEMS 加速度传感器读出电路设计第25-62页
   ·参考电源设计第25-32页
     ·参考源理论分析第25-27页
     ·低噪声的基准电压源电路第27-29页
     ·基准电压源电路设计第29-30页
     ·基准电压源电路仿真第30-32页
   ·MEMS 电容补偿阵列第32-34页
   ·读出放大器设计第34-58页
     ·读出放大器指标要求第34页
     ·放大器常用结构第34-36页
     ·Decompensated 放大器第36-38页
     ·失调消除技术第38-42页
     ·读出放大器设计第42-47页
     ·读出放大器仿真第47-52页
     ·读出放大电路设计第52-57页
     ·读出放大电路仿真第57-58页
   ·多相时钟同步电路第58-61页
   ·本章小结第61-62页
第五章 MEMS 加速度传感器读出电路流片与测试第62-68页
   ·版图设计第62-63页
   ·读出放大电路概貌图第63-64页
   ·基准电压测试第64-66页
   ·MEMS 加速度传感器读出电路测试第66-68页
第六章 总结与展望第68-69页
参考文献第69-72页
致谢第72-73页
个人简历第73-74页
在校期间发表的学术论文及研究成果第74页

 
 
论文编号BS2038527,这篇论文共74
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