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MEMS加速度传感器读出电路设计
论文目录
摘要
第1-5页
Abstract
第5-9页
第一章 引言
第9-14页
·MEMS 电容加速度传感器
第9-10页
·微弱电容检测技术
第10页
·国内外发展状况
第10-11页
·开环加速度计与闭环加速度计
第11-12页
·研究意义
第12页
·本论文的主要工作
第12-14页
第二章 MEMS 加速度传感器读出电路结构与工作原理
第14-18页
·MEMS 加速度传感器读出电路系统结构
第14-16页
·工作原理
第16-17页
·MEMS 加速度传感器简介
第16页
·工作原理简介
第16-17页
·MEMS 加速度传感器读出电路设计要求
第17页
·本章小结
第17-18页
第三章 MEMS 加速度传感器读出电路时序设计
第18-25页
·启动模式
第18-21页
·运行模式
第21-24页
·本章小结
第24-25页
第四章 MEMS 加速度传感器读出电路设计
第25-62页
·参考电源设计
第25-32页
·参考源理论分析
第25-27页
·低噪声的基准电压源电路
第27-29页
·基准电压源电路设计
第29-30页
·基准电压源电路仿真
第30-32页
·MEMS 电容补偿阵列
第32-34页
·读出放大器设计
第34-58页
·读出放大器指标要求
第34页
·放大器常用结构
第34-36页
·Decompensated 放大器
第36-38页
·失调消除技术
第38-42页
·读出放大器设计
第42-47页
·读出放大器仿真
第47-52页
·读出放大电路设计
第52-57页
·读出放大电路仿真
第57-58页
·多相时钟同步电路
第58-61页
·本章小结
第61-62页
第五章 MEMS 加速度传感器读出电路流片与测试
第62-68页
·版图设计
第62-63页
·读出放大电路概貌图
第63-64页
·基准电压测试
第64-66页
·MEMS 加速度传感器读出电路测试
第66-68页
第六章 总结与展望
第68-69页
参考文献
第69-72页
致谢
第72-73页
个人简历
第73-74页
在校期间发表的学术论文及研究成果
第74页
论文编号
BS2038527
,这篇论文共
74
页
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