|
|
|
|
磁控溅射制备绒面结构ZnO薄膜的研究 |
| |
| 论文目录 |
| |
| 摘要 | 第1-4页 | | Abstract | 第4-7页 | | 第1章 引言 | 第7-16页 | | ·课题来源 | 第7-11页 | | ·时代背景 | 第7-8页 | | ·太阳能电池 | 第8-11页 | | ·TCO 膜的研究发展 | 第11-15页 | | ·透明导电膜与透明导电氧化物薄膜 | 第11页 | | ·ZnO 薄膜 | 第11-14页 | | ·氧化锌薄膜在太阳能电池上的应用 | 第14-15页 | | ·本研究的目标和意义 | 第15-16页 | | 第2章 磁控溅射ZnO 薄膜的制备与测试手段 | 第16-22页 | | ·磁控溅射 | 第16-17页 | | ·溅射镀膜的基本原理及特点 | 第16页 | | ·实验装置 | 第16-17页 | | ·溅射镀膜的优缺点及种类 | 第17页 | | ·湿法刻蚀技术 | 第17-19页 | | ·测试手段 | 第19-22页 | | ·X 射线衍射(XRD) | 第19-20页 | | ·透射一反射谱 | 第20页 | | ·扫描电子显微镜(SEM ) | 第20-22页 | | 第3章 磁控溅射参数对ZnO 薄膜结构及性能的影响 | 第22-38页 | | ·样品的制备 | 第22-24页 | | ·衬底的清洗 | 第22-23页 | | ·实验操作流程 | 第23页 | | ·实验系列样品制备 | 第23-24页 | | ·实验结果与讨论 | 第24-37页 | | ·偏压对ZnO 薄膜结构、形貌与光学性能的影响 | 第24-27页 | | ·溅射功率对ZnO 薄膜结构、形貌与光学性能的影响 | 第27-29页 | | ·衬底温度对ZnO 薄膜结构、形貌与光学性能的影响 | 第29-31页 | | ·薄膜厚度对ZnO 薄膜结构、形貌与光学性能的影响 | 第31-33页 | | ·溅射气压对ZnO 薄膜结构的影响 | 第33-35页 | | ·退火温度对ZnO 薄膜结构与形貌的影响 | 第35-37页 | | ·本章小节 | 第37-38页 | | 第4章 衬底材料对ZnO 薄膜结构和性能的影响 | 第38-45页 | | ·样品的制备 | 第38-39页 | | ·衬底的清洗 | 第38页 | | ·实验操作流程 | 第38页 | | ·实验样品制备 | 第38-39页 | | ·结果与讨论 | 第39-44页 | | ·普通玻璃衬底对ZnO 薄膜结构与形貌的影响 | 第39-40页 | | ·Si 衬底材料对ZnO 薄膜结构与形貌的影响 | 第40-42页 | | ·SnO_2:F 膜衬底材料对 ZnO 薄膜结构与形貌的影响 | 第42-44页 | | ·本章小结 | 第44-45页 | | 第5章 绒面结构ZnO 薄膜的制备 | 第45-50页 | | ·磁控溅射制备绒面结构ZnO 薄膜 | 第46-48页 | | ·实验制备 | 第46页 | | ·结果与分析 | 第46-48页 | | ·酸刻方法制备绒面结构ZnO 薄膜 | 第48页 | | ·两种绒面结构透光率的对比 | 第48-49页 | | ·本章小结 | 第49-50页 | | 第6章 结论 | 第50-51页 | | 致谢 | 第51-52页 | | 参考文献 | 第52-56页 | | 附录 | 第56页 |
|
|
|
|
论文编号BS2221527，这篇论文共56页
会员购买按0.35元/页下载，共需支付19.6元。 直接购买按0.5元/页下载，共需要支付28元 。 |
 |
 |
我还不是会员，注册会员！
会员下载更优惠!充值送钱！ |
我只需要这篇，无需注册！
直接网上支付，方便快捷！ |
|
|
|
版权申明：本目录由www.jylw.com网站制作，本站并未收录原文，如果您是作者，需要删除本篇论文目录请通过QQ或其它联系方式告知我们，我们承诺24小时内删除。 |
|
|
广告服务