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硅油粘滞性对C4F8等离子体处理的硅油表面凝聚行为的影响 |
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论文目录 |
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中文摘要 | 第1-6页 | Abstract | 第6-10页 | 第一章 绪论 | 第10-15页 | ·研究背景及意义 | 第10-13页 | ·本小组研究情况 | 第13-14页 | ·本文的研究内容 | 第14-15页 | 第二章 样品的制备及实验方法 | 第15-21页 | ·实验样品制备与处理 | 第15-17页 | ·实验材料 | 第15页 | ·样品制备 | 第15-16页 | ·硅油液体基片的双频耦合等离子体处理 | 第16-17页 | ·分析测试方法 | 第17-21页 | ·硅油表面形貌的金相分析 | 第17-18页 | ·硅油液体结构的傅立叶变换红外光谱表征方法 | 第18-20页 | ·硅油液体光致发光的荧光光谱分析 | 第20-21页 | 第三章 C_4F_8等离子体作用的硅油表面微结构特征 | 第21-27页 | ·未处理硅油的表面形貌 | 第21-22页 | ·真空处理后硅油的表面形貌 | 第22-23页 | ·C_4F_8 等离子体放电处理后硅油的表面形貌 | 第23-27页 | ·类树枝状结构 | 第23-24页 | ·蛇形结构 | 第24页 | ·梳状结构 | 第24-25页 | ·圆盘结构 | 第25-26页 | ·正弦结构 | 第26-27页 | 第四章 硅油基片上类树枝状分形凝聚行为 | 第27-31页 | ·不同粘滞系数硅油表面的类树枝状分形凝聚结构特征 | 第27-29页 | ·硅油粘滞系数差异对C:F 团簇凝聚行为影响的机制 | 第29-31页 | 第五章 硅油基片上蛇形凝聚行为 | 第31-34页 | ·不同粘滞系数硅油表面的蛇形凝聚结构特征 | 第31-32页 | ·硅油粘滞系数差异对蛇形凝聚行为影响的机制 | 第32-34页 | 第六章 C_4F_8等离子体处理硅油液体的光致发光性能 | 第34-38页 | ·C_4F_8 等离子体处理硅油液体的光致发光谱 | 第34-35页 | ·硅油液体光致发光的的结构关联 | 第35-38页 | 第七章 结论及展望 | 第38-42页 | ·本文的主要结果 | 第38页 | ·存在的问题及进一步研究方向 | 第38-42页 | 参考文献 | 第42-45页 | 硕士期间发表的论文 | 第45-46页 | 致谢 | 第46-47页 |
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