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氮化钒基纳米复合膜及VN/WN纳米多层膜的微结构及性能研究 |
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| 摘要 | 第1-5页 | | Abstract | 第5-13页 | | 第1章 绪论 | 第13-22页 | | ·引言 | 第13页 | | ·超硬薄膜材料介绍 | 第13-14页 | | ·本征硬质薄膜 | 第13-14页 | | ·非本征硬质薄膜（微结构强化硬质薄膜） | 第14页 | | ·纳米复合膜 | 第14-15页 | | ·纳米复合膜概念及分类 | 第14页 | | ·纳米复合膜致硬机理 | 第14-15页 | | ·纳米结构多层膜 | 第15-17页 | | ·纳米结构多层膜概念及分类 | 第15-16页 | | ·纳米结构多层膜的致硬机理 | 第16-17页 | | ·薄膜的摩擦磨损机制及影响因素 | 第17-20页 | | ·摩擦 | 第17-18页 | | ·磨损 | 第18-19页 | | ·摩擦磨损过程 | 第19-20页 | | ·选题意义与研究内容 | 第20-22页 | | ·选题意义 | 第20-21页 | | ·研究内容 | 第21-22页 | | 第2章 薄膜的制备与表征 | 第22-26页 | | ·薄膜的制备 | 第22-23页 | | ·实验设备 | 第22页 | | ·薄膜基片处理方法 | 第22-23页 | | ·薄膜的表征 | 第23-26页 | | ·X 射线衍射仪(XRD) | 第23页 | | ·扫描电子显微镜(SEM) | 第23页 | | ·能量色散谱仪(EDS) | 第23-24页 | | ·纳米综合力学测试仪 | 第24页 | | ·摩擦磨损试验机 | 第24-25页 | | ·箱式电阻炉 | 第25页 | | ·热重分析仪 | 第25-26页 | | 第3章 N_2流量氮化钒薄膜性能的影响 | 第26-41页 | | ·引言 | 第26-27页 | | ·氮化钒薄膜的制备与表征 | 第27-28页 | | ·氮化钒薄膜的制备 | 第27页 | | ·氮化钒薄膜的表征 | 第27-28页 | | ·氮化钒薄膜的微结构与性能 | 第28-40页 | | ·氮化钒薄膜的沉积速率 | 第28页 | | ·氮化钒薄膜的微结构 | 第28-31页 | | ·氮化钒薄膜的力学性能 | 第31-32页 | | ·氮化钒薄膜的摩擦性能 | 第32-40页 | | ·本章小结 | 第40-41页 | | 第4章 W 含量对（V,W）N 复合膜微结构及性能的影响 | 第41-49页 | | ·引言 | 第41页 | | ·实验过程及表征 | 第41-42页 | | ·复合膜的制备方法 | 第41-42页 | | ·复合膜的表征 | 第42页 | | ·（V,W）N 复合膜测试结果 | 第42-48页 | | ·(V,W)N 复合膜原子百分含量与微结构 | 第42-45页 | | ·（V,W）N 复合膜的力学性能 | 第45页 | | ·(V,W)N 复合膜的摩擦性能 | 第45-48页 | | ·本章小结 | 第48-49页 | | 第5章 不同 Al 含量（V,W,Al）N 复合膜微结构及性能研究 | 第49-57页 | | ·引言 | 第49页 | | ·复合膜的制备方法及表征 | 第49-50页 | | ·复合膜的制备方法 | 第49-50页 | | ·复合膜的表征 | 第50页 | | ·复合膜的微结构与性能 | 第50-56页 | | ·（V,W,Al）N 复合膜的成分及微结构 | 第50-51页 | | ·（V,WAl）N 复合膜的力学性能 | 第51-52页 | | ·（V,W,Al）N 复合膜的高温抗氧化性能 | 第52-56页 | | ·本章小结 | 第56-57页 | | 第6章 VN/WN 纳米多层膜微结构及性能的研究 | 第57-68页 | | ·引言 | 第57页 | | ·薄膜制备及表征 | 第57-58页 | | ·VN/WN 多层膜的制备 | 第57-58页 | | ·VN/WN 多层膜的表征 | 第58页 | | ·实验结果与讨论 | 第58-67页 | | ·VN/WN 多层膜微结构 | 第58-60页 | | ·VN/WN 多层膜的显微硬度及弹性模量 | 第60-62页 | | ·VN/WN 多层膜的摩擦学性能 | 第62-67页 | | ·本章小结 | 第67-68页 | | 结论 | 第68-70页 | | 参考文献 | 第70-77页 | | 攻读硕士期间论文发表情况 | 第77-78页 | | 致谢 | 第78页 |
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