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微纳米机电系统力电耦合理论与数值方法研究
 
     论文目录
 
摘要第8-10页
ABSTRACT第10-11页
主要符号说明第12-14页
第一章 绪论第14-30页
    1.1 研究背景及意义第14-15页
    1.2 纳米机电系统NEMS微结构特性及研究现状第15-28页
        1.2.1 尺寸效应第15-19页
        1.2.2 不稳定吸合特性第19页
        1.2.3 纳米尺度下的微观力及研究现状第19-22页
        1.2.4 基于连续介质力学不同理论的发展与研究现状第22-28页
    1.3 主要研究内容第28-30页
第二章 基于连续介质力学的不同理论的对比研究第30-52页
    2.1 引言第30-31页
    2.2 基于连续介质力学的不同理论第31-38页
        2.2.1 表面能理论第31-32页
        2.2.2 修正偶应力理论第32-33页
        2.2.3 非局部理论第33-35页
        2.2.4 梯度弹性理论第35-37页
        2.2.5 应变梯度弹性理论第37-38页
    2.3 基于不同理论的简支欧拉梁模型对比研究第38-50页
        2.3.1 两端简支欧拉微梁模型第38-46页
        2.3.2 数值结果与对比第46-50页
    2.4 本章小结第50-52页
第三章 静电激励MEMS数值方法探究第52-64页
    3.1 引言第52页
    3.2 广义微分求积法第52-54页
        3.2.1 广义微分求积法的发展第52-53页
        3.2.2 广义微分求积法的原理第53-54页
    3.3 拟弧长延拓法第54-57页
        3.3.1 拟弧长延拓法的原理第54-57页
    3.4 静电激励MEMS模型第57-60页
    3.5 数值结果分析第60-62页
    3.6 本章小结第62-64页
第四章 考虑卡西米尔力的静电激励NEMS吸合特性及其尺寸效应研究第64-86页
    4.1 引言第64-65页
    4.2 考虑卡西米尔力的静电激励NEMS尺寸效应模型第65-71页
    4.3 数值结果与分析第71-84页
        4.3.1 不稳定吸合现象第71页
        4.3.2 卡西米尔效应第71-75页
        4.3.3 最小间距和拉起长度第75-80页
        4.3.4 结合Casimir force和边缘场研究NEMS的尺寸效应第80-82页
        4.3.5 新尺寸效应模型的应用第82-84页
    4.4 本章小结第84-86页
第五章 考虑范德华力的静电激励NEMS吸合特性及其尺寸效应研究第86-94页
    5.1 引言第86页
    5.2 考虑范德华力的静电激励NEMS尺寸效应模型第86-88页
    5.3 数值结果与对比第88-91页
        5.3.1 不稳定吸合现象第88-90页
        5.3.2 范得华力的影响第90页
        5.3.3 尺寸效应第90-91页
    5.4 本章小结第91-94页
总结与展望第94-98页
    全文总结第94-96页
    主要创新点第96页
    研究展望第96-98页
参考文献第98-110页
致谢第110-112页
攻读学位期间发表的学术论文和参加科研情况第112-113页
学位论文评阅及答辩情况表第113页

 
论文编号BS3214628,这篇论文共113
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