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当前位置:教育论文中心首页--硕士论文--SIPOS钝化功率晶体管双线击穿现象的研究
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SIPOS钝化功率晶体管双线击穿现象的研究
 
     论文目录
 
摘要第1-6页
Abstract第6-10页
第1章 绪论第10-18页
   ·课题背景第10-11页
   ·国内外研究现状及发展趋势第11-15页
     ·钝化技术研究现状第11-14页
     ·电子器件可靠性研究现状第14-15页
   ·本课题研究的目的和意义第15-16页
   ·本课题主要研究内容第16-18页
第2章 SIPOS 钝化功率晶体管结构与制备工艺第18-31页
   ·SIPOS 钝化功率晶体管结构第18-22页
     ·SIPOS 钝化功率晶体管管芯纵向结构第18-20页
     ·SIPOS 钝化功率晶体管管芯横向结构第20-22页
   ·SIPOS 钝化功率晶体管制备工艺第22-27页
   ·SIPOS 钝化层的制备及性能第27-30页
     ·SIPOS 薄膜制备工艺第27-28页
     ·SIPOS 钝化机理第28-29页
     ·SIPOS 钝化层性能第29-30页
   ·本章小结第30-31页
第3章 SIPOS 钝化功率晶体管电参数与反向击穿电压测试第31-43页
   ·SIPOS 钝化功率晶体管电参数要求第31-32页
   ·常见的双极型晶体管反向击穿第32-37页
     ·常见击穿现象第32-34页
     ·雪崩击穿条件第34-35页
     ·常见影响击穿特性的因素第35-37页
   ·SIPOS 钝化功率晶体管反向击穿电压测试第37-41页
     ·反向击穿电压测试原理第38-39页
     ·反向击穿电压测试方法第39-40页
     ·管芯反向击穿电压测试第40-41页
   ·本章小结第41-43页
第4章 “双线击穿”失效测试分析第43-54页
   ·失效分析流程第43-45页
   ·失效分析实验第45-52页
     ·管芯外观和击穿观测实验第45-46页
     ·半破坏性样片制备第46-50页
     ·样片反向击穿电压测试第50-52页
   ·测试结果分析第52-53页
   ·本章小结第53-54页
第5章 “双线击穿”曲线现象原因分析第54-67页
   ·失效问题点测试第54-60页
     ·“双线击穿”样片SIPOS 层元素能谱分析第54-55页
     ·良好击穿曲线样片SIPOS 层元素能谱分析第55-56页
     ·测试数据对比第56-60页
   ·失效原因分析第60-64页
     ·氧含量对SIPOS 层性能影响第60-61页
     ·工艺中引起氧含量超标的主要原因第61-62页
     ·“双线击穿”失效机理第62-63页
     ·出现“双线击穿”现象的原因第63-64页
   ·“双线击穿”现象解决与预防第64-65页
     ·预防“双线击穿”早期失效的方法第64-65页
     ·出现“双线击穿”现象的补救方法第65页
   ·本章小结第65-67页
结论第67-68页
参考文献第68-73页
攻读学位期间发表的学术论文第73-74页
致谢第74页

 
 
论文编号BS637178,这篇论文共74
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