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SIPOS钝化功率晶体管双线击穿现象的研究 |
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论文目录 |
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摘要 | 第1-6页 | Abstract | 第6-10页 | 第1章 绪论 | 第10-18页 | ·课题背景 | 第10-11页 | ·国内外研究现状及发展趋势 | 第11-15页 | ·钝化技术研究现状 | 第11-14页 | ·电子器件可靠性研究现状 | 第14-15页 | ·本课题研究的目的和意义 | 第15-16页 | ·本课题主要研究内容 | 第16-18页 | 第2章 SIPOS 钝化功率晶体管结构与制备工艺 | 第18-31页 | ·SIPOS 钝化功率晶体管结构 | 第18-22页 | ·SIPOS 钝化功率晶体管管芯纵向结构 | 第18-20页 | ·SIPOS 钝化功率晶体管管芯横向结构 | 第20-22页 | ·SIPOS 钝化功率晶体管制备工艺 | 第22-27页 | ·SIPOS 钝化层的制备及性能 | 第27-30页 | ·SIPOS 薄膜制备工艺 | 第27-28页 | ·SIPOS 钝化机理 | 第28-29页 | ·SIPOS 钝化层性能 | 第29-30页 | ·本章小结 | 第30-31页 | 第3章 SIPOS 钝化功率晶体管电参数与反向击穿电压测试 | 第31-43页 | ·SIPOS 钝化功率晶体管电参数要求 | 第31-32页 | ·常见的双极型晶体管反向击穿 | 第32-37页 | ·常见击穿现象 | 第32-34页 | ·雪崩击穿条件 | 第34-35页 | ·常见影响击穿特性的因素 | 第35-37页 | ·SIPOS 钝化功率晶体管反向击穿电压测试 | 第37-41页 | ·反向击穿电压测试原理 | 第38-39页 | ·反向击穿电压测试方法 | 第39-40页 | ·管芯反向击穿电压测试 | 第40-41页 | ·本章小结 | 第41-43页 | 第4章 “双线击穿”失效测试分析 | 第43-54页 | ·失效分析流程 | 第43-45页 | ·失效分析实验 | 第45-52页 | ·管芯外观和击穿观测实验 | 第45-46页 | ·半破坏性样片制备 | 第46-50页 | ·样片反向击穿电压测试 | 第50-52页 | ·测试结果分析 | 第52-53页 | ·本章小结 | 第53-54页 | 第5章 “双线击穿”曲线现象原因分析 | 第54-67页 | ·失效问题点测试 | 第54-60页 | ·“双线击穿”样片SIPOS 层元素能谱分析 | 第54-55页 | ·良好击穿曲线样片SIPOS 层元素能谱分析 | 第55-56页 | ·测试数据对比 | 第56-60页 | ·失效原因分析 | 第60-64页 | ·氧含量对SIPOS 层性能影响 | 第60-61页 | ·工艺中引起氧含量超标的主要原因 | 第61-62页 | ·“双线击穿”失效机理 | 第62-63页 | ·出现“双线击穿”现象的原因 | 第63-64页 | ·“双线击穿”现象解决与预防 | 第64-65页 | ·预防“双线击穿”早期失效的方法 | 第64-65页 | ·出现“双线击穿”现象的补救方法 | 第65页 | ·本章小结 | 第65-67页 | 结论 | 第67-68页 | 参考文献 | 第68-73页 | 攻读学位期间发表的学术论文 | 第73-74页 | 致谢 | 第74页 |
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