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等离子增强磁控溅射沉积新型纳米复合涂层 |
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| 论文目录 |
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| 摘要 | 第1-7页 | | Abstract | 第7-9页 | | 致谢 | 第9-15页 | | 第一章 绪论 | 第15-25页 | | ·引言 | 第15页 | | ·表面工程技术的分类 | 第15页 | | ·纳米复合涂层概述 | 第15-16页 | | ·纳米复合涂层的分类 | 第16-17页 | | ·按晶粒尺寸和相邻晶粒间距大小分类 | 第16-17页 | | ·按硬度进行分类 | 第17页 | | ·按物相组成分类 | 第17页 | | ·纳米复合涂层的制备工艺 | 第17-21页 | | ·化学气相沉积(CVD) | 第17-18页 | | ·物理气相沉积(PVD) | 第18-21页 | | ·纳米复合涂层在实际中的应用 | 第21-23页 | | ·纳米复合涂层在刀具上的应用 | 第21页 | | ·纳米复合涂层在耐冲蚀领域的应用 | 第21-22页 | | ·纳米复合涂层在耐腐蚀领域的应用 | 第22页 | | ·纳米复合涂层在模具上的应用 | 第22-23页 | | ·TiSiCN 纳米复合涂层 | 第23页 | | ·本论文的研究内容和意义 | 第23-24页 | | ·本章小结 | 第24-25页 | | 第二章 等离子增强磁控溅射沉积技术 | 第25-30页 | | ·PEMS 技术的原理 | 第25-26页 | | ·PEMS 技术与传统磁控溅射技术的比较 | 第26-28页 | | ·传统磁控溅射技术(CMS) | 第26页 | | ·PEMS 技术 | 第26-27页 | | ·CMS 和 PEMS 实验结果比较 | 第27-28页 | | ·PEMS 镀膜前的离子清洗 | 第28-29页 | | ·真空室及工件的烘烤除气 | 第28页 | | ·离子清洗 | 第28-29页 | | ·PEMS 镀膜 | 第29页 | | ·本章小结 | 第29-30页 | | 第三章 Ti 基、Ti-Me 基纳米复合涂层的制备和性能 | 第30-40页 | | ·试样镀膜前的准备 | 第30页 | | ·离子清洗和镀膜参数的设计 | 第30-32页 | | ·镀膜过程中 Si 的获取 | 第32-33页 | | ·纳米薄膜的表征技术 | 第33-36页 | | ·扫描电子显微技术(SEM) | 第33页 | | ·表面轮廓分析(Stylus Profilemeter) | 第33-34页 | | ·X 射线衍射(XRD) | 第34页 | | ·原子力显微分析(AFM) | 第34-35页 | | ·表面能(Surface Energy) | 第35页 | | ·硬度(Hardness) | 第35-36页 | | ·摩擦磨损性能测试 | 第36-37页 | | ·固体颗粒物对工件的冲蚀(Solid Particle Erosion) | 第36-37页 | | ·摩擦磨损试验 | 第37页 | | ·电化学性能 | 第37-38页 | | ·高温性能 | 第38页 | | ·本章小结 | 第38-40页 | | 第四章 Ti 基、Ti-Me 基纳米复合涂层的组织和物理性能 | 第40-60页 | | ·纳米复合涂层的组织结构 | 第40-41页 | | ·AFM 结果分析 | 第41-43页 | | ·X 射线衍射分析 | 第43-45页 | | ·成分分析结果 | 第45-46页 | | ·涂层和基体之间的结合力 | 第46-48页 | | ·显微硬度 | 第48-49页 | | ·纳米压痕测试 | 第49页 | | ·表面能测试结果分析 | 第49-51页 | | ·摩擦磨损试验结果 | 第51-55页 | | ·滑动摩擦磨损性能测试结果 | 第51-54页 | | ·冲蚀磨损试验结果 | 第54-55页 | | ·耐高温氧化性能测试 | 第55-58页 | | ·试验方法和耐高温氧化性能表征 | 第55-56页 | | ·耐高温氧化性能测试结果与分析 | 第56-58页 | | ·本章小结 | 第58-60页 | | 第五章 Ti 基、Ti-Me 基纳米复合涂层的电化学性能 | 第60-71页 | | ·试验方法 | 第60-62页 | | ·开路电位 OCP 的测试结果 | 第62-63页 | | ·线性极化 LPR 的测试结果 | 第63-65页 | | ·交流阻抗谱 EIS 测试结果 | 第65-68页 | | ·动电位极化扫描(PDS)测试结果 | 第68-70页 | | ·本章小结 | 第70-71页 | | 第六章 全文总结 | 第71-73页 | | ·总结 | 第71-72页 | | ·本文创新之处与工作展望 | 第72-73页 | | 参考文献 | 第73-82页 | | 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第82-83页 |
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论文编号BS320329，这篇论文共83页
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