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环境振动驱动微型压电发电装置的关键技术研究 |
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| 论文目录 |
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| 摘要 | 第1-7页 | | Abstract | 第7-9页 | | 目录 | 第9-13页 | | 1 绪论 | 第13-33页 | | ·本文课题的提出与研究意义 | 第13-14页 | | ·微系统与微电源 | 第14-18页 | | ·微加工技术 | 第14-15页 | | ·机电系统微型化研究 | 第15-16页 | | ·微电源需求 | 第16-18页 | | ·微能源研究现状 | 第18-25页 | | ·燃料型微电池 | 第18-20页 | | ·化学电池 | 第20-21页 | | ·微型核电池 | 第21-22页 | | ·利用环境能量发电的微电源 | 第22-23页 | | ·基于振动驱动的静电转换和电磁转换微型电源 | 第23-25页 | | ·微型压电发电装置的研究现状 | 第25-28页 | | ·风能驱动微型压电发电装置 | 第26页 | | ·水能驱动微型压电发电装置 | 第26-27页 | | ·人体能驱动压电发电研究 | 第27页 | | ·振动驱动压电发电装置 | 第27-28页 | | ·各种微电源能量密度比较 | 第28-30页 | | ·环境振动激振源介绍 | 第30-31页 | | ·本文研究工作 | 第31-33页 | | 2 微型压电发电装置能量转换分析 | 第33-59页 | | ·引言 | 第33-34页 | | ·压电转换基本理论 | 第34-40页 | | ·压电晶体物理性质 | 第34页 | | ·压电效应与压电发电机理 | 第34-37页 | | ·压电方程 | 第37-38页 | | ·压电方程中各物理量的定向标准 | 第38-39页 | | ·压电系数与机电耦合系数 | 第39-40页 | | ·压电晶体机电转换类型与结构分析 | 第40-44页 | | ·压电晶体的机电转换类型 | 第40-42页 | | ·“33”型压电发电结构 | 第42-43页 | | ·“31”型压电发电结构 | 第43-44页 | | ·微型压电发电装置分析模型 | 第44-57页 | | ·系统振动模型 | 第44-48页 | | ·结构受力参数分析 | 第48-50页 | | ·压电发电开路电压计算 | 第50-52页 | | ·负载电压和功率分析 | 第52-54页 | | ·理论分析结果讨论 | 第54-57页 | | ·本章小结 | 第57-59页 | | 3 硅基压电悬臂梁发电结构设计与仿真分析 | 第59-73页 | | ·引言 | 第59页 | | ·微型发电装置基本结构设计 | 第59-62页 | | ·发电装置结构设计 | 第59-60页 | | ·压电悬臂梁材料选择 | 第60-61页 | | ·压电悬臂梁结构的材料属性 | 第61-62页 | | ·微型压电悬臂梁结构仿真分析 | 第62-72页 | | ·结构分析的有限元方法 | 第62-64页 | | ·压电悬臂梁的简化模型 | 第64-65页 | | ·结构网格划分与边界条件 | 第65-66页 | | ·硅基压电发电系统仿真分析 | 第66-67页 | | ·电压与应力分布分析 | 第67-68页 | | ·压电悬臂梁振动频率分析 | 第68-69页 | | ·输出电压与结构关系 | 第69-72页 | | ·本章小结 | 第72-73页 | | 4 微型硅基压电悬臂梁发电装置制作工艺研究 | 第73-108页 | | ·引言 | 第73-74页 | | ·微型压电发电装置制作工艺设计 | 第74-75页 | | ·PZT压电薄膜制作研究 | 第75-88页 | | ·PZT的晶体结构与压电性关系 | 第75-77页 | | ·PZT压电薄膜制备方法及特点 | 第77-79页 | | ·溶胶-凝胶法制备PZT薄膜过程 | 第79-80页 | | ·溶胶制备 | 第80-84页 | | ·PZT薄膜制备 | 第84-88页 | | ·PZT压电薄膜性能表征 | 第88-92页 | | ·PZT表面形貌表征 | 第88-89页 | | ·XRD分析 | 第89-90页 | | ·I/V曲线测量 | 第90-91页 | | ·电滞回线测量 | 第91-92页 | | ·微型压电发电装置制作工艺研究 | 第92-103页 | | ·SiO_2掩蔽绝缘层制备 | 第92-93页 | | ·SiO_2掩蔽层图形化 | 第93页 | | ·硅悬臂梁的制作与释放 | 第93-96页 | | ·PZT电极制作 | 第96-101页 | | ·PZT薄膜图形化 | 第101-103页 | | ·制作上电极绝缘保护层 | 第103页 | | ·硅基微型压电悬臂梁制备工艺流程 | 第103-106页 | | ·本章小结 | 第106-108页 | | 5 压电发电装置性能测试 | 第108-119页 | | ·引言 | 第108页 | | ·压电发电测试系统 | 第108-109页 | | ·硅基微型压电发电装置测试 | 第109-112页 | | ·硅基压电发电装置的激振频率特性测试 | 第110-111页 | | ·输出电压 | 第111-112页 | | ·金属弹性层压电发电装置制作 | 第112-113页 | | ·压电发电装置输出特性 | 第113-116页 | | ·能量存储与应用 | 第116-117页 | | ·本章小结 | 第117-119页 | | 6 总结与展望 | 第119-121页 | | ·本文主要结论 | 第119-120页 | | ·下一步工作展望 | 第120-121页 | | 参考文献 | 第121-130页 | | 攻读博士期间发表论文情况 | 第130-132页 | | 创新点摘要 | 第132-133页 | | 致谢 | 第133-134页 |
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论文编号BS1503703，这篇论文共134页
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