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当前位置:教育论文中心首页--硕士论文--双丙酮丙烯酰胺改性甲基丙烯酸酯类光刻胶的制备
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双丙酮丙烯酰胺改性甲基丙烯酸酯类光刻胶的制备
 
     论文目录
 
摘要第1-6页
Abstract第6-8页
目录第8-11页
插图索引第11-12页
附表索引第12-13页
第1章 绪论第13-26页
   ·前言第13页
   ·光刻胶的发展简介第13-15页
   ·光致抗蚀剂的分类第15-19页
     ·传统光刻胶第15-17页
     ·化学放大光刻胶第17-18页
     ·干膜光致抗烛剂第18页
     ·液态光致抗蚀剂第18-19页
   ·光刻工艺第19-22页
     ·涂胶第20页
     ·前烘第20页
     ·曝光第20-21页
     ·显影第21页
     ·坚膜第21-22页
     ·刻蚀第22页
     ·去膜第22页
   ·光刻胶的应用第22-23页
   ·光刻胶的性能要求第23-24页
   ·本课题研究的意义、目的及内容第24-26页
第2章 成膜树脂的合成第26-44页
   ·引言第26-27页
   ·实验部分第27-31页
     ·原料与设备第27-28页
     ·成膜树脂的合成第28-29页
     ·分析测试第29-31页
   ·结果与讨论第31-43页
     ·改性剂的选择第31-32页
     ·成膜树脂的表征第32-36页
     ·引发剂种类对聚合物分子量的影响第36页
     ·引发剂用量对聚合物分子量的影响第36-37页
     ·溶剂对聚合物分子量及粘度的影响第37-38页
     ·反应温度对聚合物分子量的影响第38页
     ·反应时间对聚合物分子量的影响第38-39页
     ·加料方式对聚合物分子量的影响第39-40页
     ·单体配比对聚合物及光刻胶性能的影响第40-41页
     ·双丙酮丙烯酰胺用量对聚合物及光刻胶性能的影响第41-43页
   ·小结第43-44页
第3章 光刻胶的配制第44-51页
   ·引言第44-46页
   ·实验部分第46-47页
     ·原料与设备第46页
     ·光刻胶的配制第46页
     ·分析测试第46-47页
   ·结果与讨论第47-50页
     ·成膜树脂种类对光刻胶感光性的影响第47-48页
     ·光引发剂用量对光刻胶感光性的影响第48-49页
     ·交联单体配比对光刻胶感光性的影响第49页
     ·交联单体用量对光刻胶感光性的影响第49-50页
   ·小结第50-51页
第4章 DAAM改性光刻胶的光刻工艺研究第51-60页
   ·引言第51页
   ·实验部分第51-52页
     ·原料与设备第51-52页
     ·实验内容第52页
     ·分析测试第52页
   ·结果与讨论第52-59页
     ·涂胶条件的确定第52页
     ·前烘条件对光刻图形的影响第52-54页
     ·曝光时间对光刻图形的影响第54-56页
     ·显影时间对光刻图形的影响第56页
     ·坚膜条件对光刻图形的影响第56-58页
     ·确定工艺后的图形效果第58-59页
   ·小结第59-60页
结论第60-61页
参考文献第61-66页
致谢第66-67页
附录A 攻读学位期间所发表的学术论文及专利第67-68页
附录B 聚合物的GPC、DSC图第68-76页

 
 
论文编号BS1856853,这篇论文共76
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