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双丙酮丙烯酰胺改性甲基丙烯酸酯类光刻胶的制备 |
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论文目录 |
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摘要 | 第1-6页 | Abstract | 第6-8页 | 目录 | 第8-11页 | 插图索引 | 第11-12页 | 附表索引 | 第12-13页 | 第1章 绪论 | 第13-26页 | ·前言 | 第13页 | ·光刻胶的发展简介 | 第13-15页 | ·光致抗蚀剂的分类 | 第15-19页 | ·传统光刻胶 | 第15-17页 | ·化学放大光刻胶 | 第17-18页 | ·干膜光致抗烛剂 | 第18页 | ·液态光致抗蚀剂 | 第18-19页 | ·光刻工艺 | 第19-22页 | ·涂胶 | 第20页 | ·前烘 | 第20页 | ·曝光 | 第20-21页 | ·显影 | 第21页 | ·坚膜 | 第21-22页 | ·刻蚀 | 第22页 | ·去膜 | 第22页 | ·光刻胶的应用 | 第22-23页 | ·光刻胶的性能要求 | 第23-24页 | ·本课题研究的意义、目的及内容 | 第24-26页 | 第2章 成膜树脂的合成 | 第26-44页 | ·引言 | 第26-27页 | ·实验部分 | 第27-31页 | ·原料与设备 | 第27-28页 | ·成膜树脂的合成 | 第28-29页 | ·分析测试 | 第29-31页 | ·结果与讨论 | 第31-43页 | ·改性剂的选择 | 第31-32页 | ·成膜树脂的表征 | 第32-36页 | ·引发剂种类对聚合物分子量的影响 | 第36页 | ·引发剂用量对聚合物分子量的影响 | 第36-37页 | ·溶剂对聚合物分子量及粘度的影响 | 第37-38页 | ·反应温度对聚合物分子量的影响 | 第38页 | ·反应时间对聚合物分子量的影响 | 第38-39页 | ·加料方式对聚合物分子量的影响 | 第39-40页 | ·单体配比对聚合物及光刻胶性能的影响 | 第40-41页 | ·双丙酮丙烯酰胺用量对聚合物及光刻胶性能的影响 | 第41-43页 | ·小结 | 第43-44页 | 第3章 光刻胶的配制 | 第44-51页 | ·引言 | 第44-46页 | ·实验部分 | 第46-47页 | ·原料与设备 | 第46页 | ·光刻胶的配制 | 第46页 | ·分析测试 | 第46-47页 | ·结果与讨论 | 第47-50页 | ·成膜树脂种类对光刻胶感光性的影响 | 第47-48页 | ·光引发剂用量对光刻胶感光性的影响 | 第48-49页 | ·交联单体配比对光刻胶感光性的影响 | 第49页 | ·交联单体用量对光刻胶感光性的影响 | 第49-50页 | ·小结 | 第50-51页 | 第4章 DAAM改性光刻胶的光刻工艺研究 | 第51-60页 | ·引言 | 第51页 | ·实验部分 | 第51-52页 | ·原料与设备 | 第51-52页 | ·实验内容 | 第52页 | ·分析测试 | 第52页 | ·结果与讨论 | 第52-59页 | ·涂胶条件的确定 | 第52页 | ·前烘条件对光刻图形的影响 | 第52-54页 | ·曝光时间对光刻图形的影响 | 第54-56页 | ·显影时间对光刻图形的影响 | 第56页 | ·坚膜条件对光刻图形的影响 | 第56-58页 | ·确定工艺后的图形效果 | 第58-59页 | ·小结 | 第59-60页 | 结论 | 第60-61页 | 参考文献 | 第61-66页 | 致谢 | 第66-67页 | 附录A 攻读学位期间所发表的学术论文及专利 | 第67-68页 | 附录B 聚合物的GPC、DSC图 | 第68-76页 |
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