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面向复合式测量的自感应AFM测头开发与系统研究
 
     论文目录
 
摘要第1-4页
ABSTRACT第4-12页
第一章 绪论第12-30页
   ·研究背景第12-15页
     ·微纳米制造技术第12-13页
     ·微纳米测量技术第13-15页
   ·原子力显微镜及其发展现状第15-27页
     ·原子力显微镜介绍第15-16页
     ·动态原子力显微镜第16-19页
     ·探针信号的自感应检测方式第19-22页
     ·大范围计量型原子力显微镜第22-26页
     ·原子力显微镜与其他测量方法的结合第26-27页
   ·课题研究意义和工作内容第27-30页
第二章 自感应音叉探针的理论模型和有限元分析第30-58页
   ·动态AFM 的调制原理第30-35页
     ·幅度调制原理第30-33页
     ·频率调制原理第33-35页
   ·音叉式探针力学等效模型第35-44页
   ·音叉式探针电学等效模型第44-47页
   ·音叉式探针的有限元分析第47-56页
   ·本章小结第56-58页
第三章 自感应AFM 测头的开发第58-76页
   ·测头自感应信号处理第58-64页
     ·探针内部的微电流第58-59页
     ·探针微电流的提取第59-61页
     ·探针寄生电容的补偿第61-63页
     ·测头信号的相位移动第63-64页
   ·测头的工作模式第64-72页
     ·测头幅度调制模式第64-65页
     ·测头自激振荡式频率调制模式第65-69页
     ·测头辅助跟踪振荡式频率调制模式第69-72页
   ·测头机电耦合系数的标定第72-75页
   ·本章小结第75-76页
第四章 复合式测量系统的构建第76-94页
   ·复合式测量系统的架构第76-80页
   ·AFM 测头与大范围纳米定位平台的复合测量第80-88页
     ·AFM 测量系统的工作模型第80-82页
     ·AFM 测量系统的反馈控制环路第82-88页
   ·AFM 与光学显微干涉系统的复合测量第88-91页
   ·本章小结第91-94页
第五章 系统性能测试及应用实验第94-132页
   ·测量系统和测量环境第94-95页
   ·系统噪声测试第95-98页
     ·纳米测量机定位噪声测量第95-96页
     ·测头的静态噪声测试第96-98页
   ·测头进/退针实验及标定第98-105页
   ·系统单反馈模式性能测试第105-117页
     ·台阶标准的测量第105-111页
     ·一维和二维栅格的测量第111-117页
   ·系统双反馈模式性能测试第117-123页
     ·平面样品的测试第117-119页
     ·一维栅格的测量第119-123页
   ·光学自由曲面的大范围测量实验第123-128页
   ·白光干涉方法辅助定位实验第128-131页
   ·本章小结第131-132页
第六章 总结与展望第132-136页
参考文献第136-146页
发表论文和科研情况说明第146-148页
致谢第148页

 
 
论文编号BS2430,这篇论文共148
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