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当前位置:教育论文中心首页--硕士论文--基于单对电极电容成像技术的缺陷识别方法与系统研究
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基于单对电极电容成像技术的缺陷识别方法与系统研究
 
     论文目录
 
摘要第4-6页
abstract第6-8页
第一章 绪论第12-17页
    1.1 研究背景及意义第12-13页
    1.2 国内外研究现状第13-15页
        1.2.1 电容层析相关技术第13-14页
        1.2.2 共面电容式相关技术第14-15页
    1.3 主要研究内容第15-17页
        1.3.1 研究目标第15页
        1.3.2 研究内容第15-17页
第二章 单对电极电容成像检测理论研究第17-32页
    2.1 单对电极电容成像检测技术基础理论第17-20页
        2.1.1 检测原理第17-19页
        2.1.2 数学模型第19-20页
    2.2 单对电极电容的理论计算第20-26页
        2.2.1 非平行板电容器电容计算第21-23页
        2.2.2 电容成像传感器电容计算第23-26页
    2.3 负灵敏度分布理论研究第26-28页
    2.4 穿透深度理论研究第28-31页
    2.5 本章小结第31-32页
第三章 单对电极电容成像缺陷检出系统开发第32-47页
    3.1 单对电极电容成像硬件锁相检出系统开发第32-42页
        3.1.1 探头设计第32-33页
        3.1.2 硬件系统开发第33-34页
        3.1.3 软件系统设计第34-37页
        3.1.4 系统实验测试第37-42页
    3.2 单对电极阵列电容成像软件锁相检出系统开发第42-46页
        3.2.1 探头设计第42页
        3.2.2 硬件系统开发第42-43页
        3.2.3 软件系统设计第43-44页
        3.2.4 系统实验测试第44-46页
    3.3 本章小结第46-47页
第四章 基于提离效应的单对电极电容成像缺陷区分方法研究第47-75页
    4.1 电容成像提离效应第47-49页
    4.2 探头灵敏度分布的提离效应仿真研究第49-56页
        4.2.1 二维模型第49-52页
        4.2.2 三维模型第52-56页
    4.3 缺陷检测提离效应仿真研究第56-61页
        4.3.1 单独非导体表面缺陷检测仿真第57页
        4.3.2 垫导体基底的非导体表面缺陷检测仿真第57-58页
        4.3.3 单独非导体隐藏缺陷检测仿真第58-59页
        4.3.4 垫导体基底的非导体隐藏缺陷检测仿真第59-60页
        4.3.5 单独导体表面缺陷检测仿真第60-61页
    4.4 提离效应实验验证第61-65页
        4.4.1 单独非导体表面缺陷检测实验第62-63页
        4.4.2 垫导体基底的非导体表面缺陷检测实验第63页
        4.4.3 单独非导体隐藏缺陷检测实验第63-64页
        4.4.4 垫导体基底的非导体隐藏缺陷检测实验第64-65页
        4.4.5 单独导体表面缺陷检测实验第65页
    4.5 单对电极电容成像缺陷区分方法第65-73页
        4.5.1 缺陷区分方法的基本流程第67-71页
        4.5.2 缺陷区分实验验证第71-73页
    4.6 本章小结第73-75页
第五章 单对电极电容成像缺陷量化方法研究第75-92页
    5.1 基于提离效应的金属表面轮廓深度反演方法第75-84页
        5.1.1 金属表面轮廓深度反演方法概述第75-76页
        5.1.2 金属表面轮廓深度反演方法基本流程第76-81页
        5.1.3 阶梯铝板量化实验验证第81-84页
    5.2 基于多提离模型网格数据的开口缺陷量化方法第84-91页
        5.2.1 多提离模型网格数据量化方法概述第84-85页
        5.2.2 多提离模型网格数据量化方法基本流程第85-87页
        5.2.3 铝槽缺陷量化案例验证第87-91页
    5.3 本章小结第91-92页
第六章 结论与展望第92-94页
    6.1 主要研究结论第92-93页
    6.2 主要创新点第93页
    6.3 展望第93-94页
参考文献第94-99页
攻读硕士学位期间取得的学术成果第99-101页
致谢第101页

 
 
论文编号BS4729430,这篇论文共101
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