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基于纳米场效应结构的微加速度计的研究 |
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| 论文目录 |
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| 摘要 | 第1-6页 | | Abstract | 第6-11页 | | 第一章 绪论 | 第11-17页 | | ·课题背景及意义 | 第11-12页 | | ·国内外发展情况介绍 | 第12-16页 | | ·本文的主要研究内容 | 第16-17页 | | 第二章 基于纳米场效应结构的微加速度计的原理 | 第17-28页 | | ·纳米场效应结构 | 第17-19页 | | ·赝配式高电子迁移率晶体管的基本原理介绍 | 第19-24页 | | ·PHEMT 模型理论介绍 | 第19-21页 | | ·增强体材料载流子对应变调制的理论研究 | 第21-24页 | | ·加速度计的力电耦合原理 | 第24-27页 | | ·本章小结 | 第27-28页 | | 第三章 基于纳米场效应的微加速度计结构分析与改进 | 第28-41页 | | ·GaAs DH-PHEMT 结构设计 | 第28-30页 | | ·普通 HEMT 的缺点： | 第28页 | | ·PHEMT 的基本结构： | 第28-30页 | | ·PHEMT 的性能优点： | 第30页 | | ·微加速度计的材料层分析改进 | 第30-33页 | | ·单平面掺杂异质结 PHEMT | 第30-31页 | | ·双平面掺杂 PHEMT | 第31-32页 | | ·SH-PHEMT 和 DH-PHEMT 输出特性比较 | 第32-33页 | | ·基于纳米场效应结构的微加速度计的设计 | 第33-40页 | | ·力学特性分析及参数优化 | 第33-36页 | | ·参数分析优化 | 第36页 | | ·ANSYS 仿真分析 | 第36-40页 | | ·本章小结 | 第40-41页 | | 第四章 基于纳米场效应结构的加速度计的版图设计与工艺 | 第41-56页 | | ·微加速度计的版图设计 | 第41-44页 | | ·版次说明 | 第41-42页 | | ·版图改进 | 第42-44页 | | ·微加速度计的工艺 | 第44-53页 | | ·关键工艺介绍 | 第45-49页 | | ·基于纳米场效应结构的微加速度计的工艺流程 | 第49-51页 | | ·实际加工成品观测 | 第51-53页 | | 4 3 基于纳米场效应结构的微加速度计的优化-硅基 GaAs 薄膜结构的研究 | 第53-55页 | | ·硅基 GaAs 薄膜结构的技术挑战 | 第53-54页 | | ·STO 缓冲层 | 第54-55页 | | ·本章小结 | 第55-56页 | | 第五章 基于纳米场效应结构的微加速度计的输出特性研究 | 第56-72页 | | ·基本特性测试 | 第56-59页 | | ·I-V 基本特性与转移特性研究 | 第56-57页 | | ·稳定性测试 | 第57-58页 | | ·漏极负电流现象分析 | 第58-59页 | | ·温度特性研究 | 第59-63页 | | ·微加速度计温度特性理论分析 | 第59-61页 | | ·温度特性实验分析 | 第61-62页 | | ·温度测试的偏压调制作用 | 第62-63页 | | ·应力对 PHEMT 器件输出特性的影响 | 第63-66页 | | ·失配应力对电子迁移率的影响 | 第63-64页 | | ·热应力与电性能影响 | 第64-65页 | | ·应力与输出之间的分析 | 第65-66页 | | ·惯性测试实验 | 第66-71页 | | ·静态惯性测试 | 第66-67页 | | ·动态惯性测试 | 第67-71页 | | ·本章小结 | 第71-72页 | | 第六章 总结与展望 | 第72-74页 | | 参考文献 | 第74-79页 | | 攻读硕士学位期间发表的论文及参与的科研项目 | 第79-81页 | | 致谢 | 第81页 |
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论文编号BS18381，这篇论文共81页
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