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MOCVD法制备的ZnO纳米结构薄膜特性及其发光器件研究
 
     论文目录
 
摘要第4-6页
Abstract第6-8页
第一章 绪论第13-33页
    1.1 前言第13-14页
    1.2 Zn O材料特性简介第14-20页
        1.2.1 Zn O晶体结构第14-15页
        1.2.2 Zn O能带结构第15-16页
        1.2.3 Zn O晶格动力学第16-17页
        1.2.4 Zn O的电学性能第17-18页
        1.2.5 Zn O的光学性能第18-20页
    1.3 Zn O纳米结构材料的研究现状第20-22页
        1.3.1 Zn O纳米结构材料的种类及其制备方法第20-21页
        1.3.2 Zn O纳米结构材料的物理特性第21-22页
    1.4 Zn O基发光器件研究现状第22-31页
        1.4.1 基于Zn O传统薄膜材料的发光器件第22-26页
        1.4.2 基于Zn O纳米结构材料的发光器件第26-31页
    1.5 本论文的选题依据与研究内容第31-33页
第二章 Zn O材料制备技术及主要表征分析手段第33-63页
    2.1 Zn O薄膜材料制备技术第33-36页
        2.1.1 MOCVD原理简介第33页
        2.1.2 本论文中用于制备Zn O薄膜的MOCVD系统简介第33-36页
    2.2 材料晶体结构及形貌表征第36-38页
        2.2.1 X射线衍射(XRD)第36-38页
        2.2.2 扫描电子显微镜(SEM)第38页
    2.3 光致发光(PL)第38-55页
        2.3.1 半导体材料PL原理简介第38页
        2.3.2 Zn O常见PL信号第38-54页
            2.3.2.1 自由激子辐射复合第38-43页
            2.3.2.2 束缚激子辐射复合第43-48页
            2.3.2.3 双电子卫星峰第48-49页
            2.3.2.4 通过施主、受主能级的辐射复合第49-52页
            2.3.2.5 声子伴线第52-54页
            2.3.2.6 近带边及深能级辐射复合第54页
        2.3.3 PL测试系统简介第54-55页
    2.4 霍尔(Hall)测试第55-63页
        2.4.1 范德堡(Van der Pauw)方法测试原理第55-57页
        2.4.2 载流子浓度随温度的变化关系第57-59页
        2.4.3 迁移率随温度的变化关系第59-60页
        2.4.4 多层导电模型第60-62页
        2.4.5 HL5500 Hall测试系统简介第62-63页
第三章 Zn O纳米柱薄膜制备特性及其光学、电学特性研究第63-107页
    3.1 引言第63页
    3.2 Zn O纳米柱薄膜的制备特性第63-71页
        3.2.1 生长温度对形貌的影响第64-65页
        3.2.2 生长温度对结晶质量的影响第65-67页
        3.2.3 关于生长温度影响的机制性讨论第67-71页
    3.3 Zn O纳米柱薄膜的光学特性第71-95页
        3.3.1 纳米柱与薄膜区域辐射复合特性的差异第71-82页
        3.3.2 生长温度对Zn O纳米柱辐射复合特性的影响第82-89页
        3.3.3 Zn O纳米柱辐射复合特性对衬底的依赖性研究第89-95页
    3.4 Zn O纳米柱薄膜的电学特性第95-106页
        3.4.1 低温生长导致的薄膜区域的电学特性第96-102页
        3.4.2 薄膜区域电学特性随着生长温度升高而发生的演化第102-106页
    3.5 本章小结第106-107页
第四章 其他Zn O纳米结构薄膜的制备特性及其光学特性研究第107-129页
    4.1 引言第107页
    4.2 Zn O纳米墙薄膜的制备及光学特性第107-117页
        4.2.1 纳米墙薄膜的制备第108-111页
        4.2.2 Zn O纳米墙薄膜辐射复合特性第111-117页
    4.3 Zn O纳米金字塔薄膜的制备及光学特性第117-126页
        4.3.1 纳米金字塔薄膜的制备第118-122页
        4.3.2 纳米金字塔辐射复合特性第122-126页
    4.4 本章小结第126-129页
第五章 基于Zn O纳米柱薄膜的发光器件研究第129-171页
    5.1 引言第129页
    5.2 基于Zn O纳米柱的Au-Mg O-Zn O结构MIS发光器件研究第129-161页
        5.2.1 器件制备第129-133页
        5.2.2 正偏驱动下器件工作情况及相应机制讨论第133-150页
            5.2.2.1 正偏驱动下器件电致发光情况第134-135页
            5.2.2.2 正偏压驱动下MIS结的若干基础物理问题讨论第135-144页
            5.2.2.3 Mg O层厚度对MIS结正偏压驱动下工作性能的影响第144-150页
        5.2.3 反偏压驱动下器件工作情况及相应机制讨论第150-161页
            5.2.3.1 反偏驱动下器件电致发光情况第150-151页
            5.2.3.2 反偏压驱动下MIS结的若干基础物理问题讨论第151-155页
            5.2.3.3 Mg O层厚度对MIS结反偏压驱动下工作性能的影响第155-161页
    5.3 基于Zn O纳米柱的新型MIPN结发光器件第161-168页
        5.3.1 Zn O基MIPN结发光器件的提出及制备第161-166页
        5.3.2 Zn O基MIPN结发光器件的性能表征第166-168页
    5.4 本章小结第168-171页
第六章 基于金属衬底的Zn O纳米结构薄膜及其发光器件第171-193页
    6.1 引言第171-172页
    6.2 基于金属衬底Zn O薄膜的探索性制备第172-175页
    6.3 不锈钢衬底上生长温度对Zn O纳米结构薄膜特性的影响第175-185页
        6.3.1 生长温度对结晶质量及形貌的影响第175-178页
        6.3.2 生长温度对辐射复合特性的影响第178-185页
    6.4 基于不锈钢衬底的Zn O纳米柱发光器件第185-191页
        6.4.1 器件制备第185-186页
        6.4.2 器件性能表征第186-188页
        6.4.3 器件工作机制讨论第188-191页
    6.5 本章小结第191-193页
参考文献第193-215页
结论第215-219页
本论文的创新点第219-221页
攻读博士学位期间发表的学术论文第221-225页
致谢第225-226页

 
 
论文编号BS3402231,这篇论文共226
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