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电子束光刻邻近效应的计算机模拟

论文目录

摘要	第1-4页
Abstract	第4-6页
目录	第6-7页
第一章绪论	第7-16页
·引言	第7页
·光刻工艺概述	第7-9页
·电子束光刻技术及其邻近效应校正技术	第9-15页
·论文内容及其安排	第15-16页
第二章电子在固体中散射的基本原理	第16-21页
·电子散射的作用机理	第16页
·电子散射的散射截面	第16-18页
·弹性散射物理模型	第18-19页
·非弹性散射的物理模型	第19-20页
·本章小结	第20-21页
第三章电子束光刻工艺的Monte Carlo模拟	第21-36页
·Monte Carlo方法概述	第21-22页
·电子散射过程的Monte Carlo模拟	第22-26页
·散射电子的空间坐标及其转换	第26-30页
·显影剖面轮廓的计算机模拟	第30-35页
·本章小结	第35-36页
第四章邻近效应校正的计算机模拟与实验	第36-62页
·电子束光刻工艺模拟流程图	第36-38页
·邻近效应的计算机模拟与实验	第38-61页
·本章小结	第61-62页
第五章总结	第62-63页
参考文献	第63-68页
致谢	第68-69页
攻读硕士期间发表的论文	第69页

论文编号BS507681，这篇论文共69页会员购买按0.35元/页下载，共需支付24.15元。直接购买按0.5元/页下载，共需要支付34.5元。

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