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ZnO/金刚石多层膜结构的高频SAW滤波器关键技术的研究
 
     论文目录
 
中文摘要第1-4页
ABSTRACT第4-9页
第一章 绪论第9-22页
   ·声表面波和声表面波器件第9-11页
     ·声表面波的分类第9-10页
     ·声表面波器件的历史第10页
     ·声表面波器件的优点第10-11页
   ·金刚石多层膜结构声表面波器件第11-14页
     ·研究意义第11-12页
     ·结构特点第12-14页
   ·金刚石多层膜结构声表面波器件的研究进展第14-19页
     ·器件制作的研究进展第14-16页
     ·材料制备的研究进展第16-19页
   ·本论文主要研究内容第19-22页
第二章 金刚石基底的制备第22-38页
   ·实验介绍第22-23页
   ·自支撑金刚石厚膜的制备与表征第23-30页
     ·金刚石的制备第23-25页
     ·金刚石的表征第25-30页
   ·金刚石抛光前后对比第30-36页
     ·形貌分析第30-31页
     ·微结构分析第31-34页
     ·热学性质分析第34-36页
   ·本章小结第36-38页
第三章 适用于高频声表面波器件的高品质ZnO 薄膜的制备表征第38-66页
   ·实验介绍第38-40页
   ·Si 基底上ZnO 薄膜的制备第40-57页
     ·沉积参数的优化第40-42页
     ·基底预处理对ZnO 薄膜品质的影响第42-57页
   ·金刚石基底上ZnO 薄膜的制备第57-65页
     ·沉积参数的优化第57-59页
     ·后期处理对ZnO 薄膜品质的影响第59-65页
   ·本章小结第65-66页
第四章 ZnO 薄膜压电性能的研究第66-88页
   ·ZnO 薄膜压电力显微镜研究的现状与原理第66-72页
     ·压电薄膜的压电力显微镜研究现状第67页
     ·PFM 检测的原理第67-71页
     ·ZnO 压电薄膜的压电力显微镜检测第71-72页
   ·C 轴取向ZnO 薄膜的压电性能分析第72-80页
     ·样品的制备第72-73页
     ·样品的结晶性和取向性分析第73页
     ·样品的局部压电性分析第73-80页
   ·基底温度对高c 轴取向ZnO 薄膜压电性能的影响第80-86页
     ·样品的制备第81页
     ·样品结晶性和取向性分析第81-82页
     ·样品的局部压电性分析第82-86页
   ·本章小结第86-88页
第五章 高频声表面波滤波器的制备及性能分析第88-106页
   ·IDT(Al)/LiTaO_3 结构声表面波滤波器的制备及性能分析第88-98页
     ·LiTaO_3 基底的清洗第89页
     ·Al 膜电极的沉积第89-94页
     ·叉指换能器的制作第94-96页
     ·其他后继工作第96-97页
     ·器件性能检测第97-98页
   ·ZnO/IDT(Al)/金刚石结构声表面波滤波器的制备及性能分析第98-104页
     ·金刚石基底的清洗第98-99页
     ·抛光金刚石上金属Al 膜的沉积第99-101页
     ·叉指换能器的制作第101-102页
     ·ZnO 薄膜的沉积第102-103页
     ·器件性能检测第103-104页
   ·本章小结第104-106页
第六章 总结与展望第106-109页
   ·全文总结第106-108页
   ·展望第108-109页
参考文献第109-120页
发表论文和参加科研情况说明第120-122页
致谢第122页

 
 
论文编号BS132,这篇论文共122
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