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当前位置:教育论文中心首页--博士论文--白光扫描干涉测量方法与系统的研究
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白光扫描干涉测量方法与系统的研究
 
     论文目录
 
摘要第1-4页
ABSTRACT第4-13页
第一章 绪论第13-31页
   ·超精密加工技术第13-15页
   ·超精密检测技术第15-20页
     ·非光学测量方法第16-17页
     ·光学测量方法第17-20页
   ·光学显微干涉术第20-28页
     ·单色光相移干涉术第20-22页
     ·白光扫描干涉术第22-28页
   ·课题的提出和工作内容第28-31页
第二章 白光干涉信号分析方法第31-47页
   ·白光干涉信号的建立第31-33页
   ·相干峰感知算法第33-43页
     ·插值法第33-34页
     ·重心法第34-35页
     ·多项式拟合法第35-36页
     ·傅立叶变换法第36-37页
     ·希尔伯特变换法第37-38页
     ·小波变换法第38-41页
     ·空间频域法第41-43页
     ·白光相移干涉法第43页
   ·方法比较分析第43-46页
     ·扫描步长变化第43-44页
     ·噪声等级变化第44-45页
     ·标准台阶测量第45-46页
   ·本章小节第46-47页
第三章 白光显微干涉测试系统第47-69页
   ·系统设计目标第47-48页
   ·系统硬件构成第48-57页
     ·机械支撑及运动机构第48-52页
     ·照明器第52-53页
     ·光学干涉系统第53-55页
     ·图像采集系统第55-57页
     ·系统总体装配第57页
   ·系统软件实现第57-59页
   ·系统性能测试第59-68页
     ·环境测试第59-63页
     ·重复性和复现性测试第63-65页
     ·干涉条纹姿态的影响第65-68页
   ·本章小结第68-69页
第四章 白光相移干涉法第69-85页
   ·测量原理第69-70页
   ·相位提取方法选择第70-80页
     ·多帧相移法第71页
     ·Hariharan相移法第71-72页
     ·Carré相移法第72-73页
     ·相位提取精度比较第73-80页
   ·数据处理方法第80-81页
   ·实验结果及分析第81-83页
   ·本章小结第83-85页
第五章 大尺度结构测试方法第85-109页
   ·大尺度台阶结构的变速扫描测量第85-91页
     ·基于预定义模式的变速扫描第86页
     ·基于自动对焦模式的变速扫描第86-90页
     ·实验结果及分析第90-91页
   ·基于纳米测量机的无重叠拼接测量第91-93页
   ·白光倾斜扫描干涉测量第93-107页
     ·测量原理第94页
     ·CCD调整与标定第94-97页
     ·数据条模式第97-98页
     ·倾斜台配置形式和高度信息提取第98-100页
     ·实验结果及分析第100-104页
     ·测量结果讨论第104-106页
     ·实验影响因素第106-107页
   ·本章小结第107-109页
第六章 基于图像分割的薄膜结构测试方法第109-123页
   ·薄膜结构测试原理第109-110页
   ·图像分割方法第110-115页
     ·Otsu方法第111-112页
     ·Kittler方法第112-113页
     ·方法对比第113-115页
   ·实验结果及分析第115-119页
     ·噪声等级变化第115页
     ·测量范围第115-117页
     ·标准膜厚测试第117-119页
   ·覆盖薄膜结构器件的测试第119-120页
   ·本章小结第120-123页
第七章 总结与展望第123-127页
参考文献第127-135页
发表论文和参加科研情况说明第135-137页
致谢第137-138页

 
 
论文编号BS2432,这篇论文共138
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