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碳化硅基硅量子点薄膜的制备和性能研究

论文目录

摘要	第3-4页
Abstract	第4-5页
第一章绪论	第8-16页
1.1 引言	第8页
1.2 全硅叠层太阳电池	第8-9页
1.3 硅量子点薄膜的研究现状	第9-14页
1.3.1 硅量子点薄膜的制备技术	第9-11页
1.3.2 改善硅量子点薄膜特性的方法	第11-14页
1.3.3 硅量子点在太阳电池领域里的应用	第14页
1.4 本论文的研究内容	第14-16页
第二章实验材料和设备	第16-24页
2.1 样品制备	第16页
2.2 实验耗材	第16-17页
2.3 制样设备	第17-21页
2.4 测试设备	第21-24页
第三章溅射工艺对碳化硅基硅量子点薄膜性能的研究	第24-45页
3.1 引言	第24页
3.2 不同衬底温度下碳化硅基硅量子点薄膜的制备和特性	第24-35页
3.2.1 实验方法	第24-25页
3.2.2 结果与讨论	第25-35页
3.2.3 小结	第35页
3.3 不同溅射功率下碳化硅基硅量子点薄膜的制备和特性	第35-45页
3.3.1 实验方法	第35-36页
3.3.2 结果与讨论	第36-44页
3.3.3 小结	第44-45页
第四章退火工艺对碳化硅硅量子点薄膜性能的研究	第45-66页
4.1 引言	第45页
4.2 不同退火温度下碳化硅基硅量子点薄膜的制备和特性	第45-56页
4.2.1 实验方法	第45-46页
4.2.2 结果与讨论	第46-55页
4.2.3 小结	第55-56页
4.3 不同退火方法下碳化硅基硅量子点薄膜的制备和特性	第56-66页
4.3.1 实验方法	第56页
4.3.2 结果与讨论	第56-65页
4.3.3 小结	第65-66页
第五章总结和展望	第66-68页
5.1 结论	第66-67页
5.2 创新点	第67页
5.3 展望	第67-68页
参考文献	第68-73页
攻读硕士期间发表的学术论文及专利	第73-74页
致谢	第74页

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