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基于扰动观测器的超精密宏微驱动定位技术研究

论文目录

摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
第1章绪论	第9-17页
·课题研究的背景及意义	第9-10页
·高速高精度定位系统的研究现状	第10-15页
·大行程高精度定位平台的研究现状	第10-12页
·宏微双重驱动系统定位控制技术研究现状	第12-14页
·扰动观测器的研究现状	第14-15页
·本文主要研究内容	第15-17页
第2章宏微双重驱动系统	第17-35页
·宏动直线电机驱动系统	第17-30页
·直线电机工作原理	第17-18页
·直线电机矢量控制系统	第18-28页
·直线电机驱动系统软硬件设计	第28-30页
·微动音圈电机驱动系统	第30-32页
·音圈电机数学模型	第30-31页
·音圈电机伺服控制原理	第31-32页
·宏微双重驱动系统模型	第32页
·扰动仿真	第32-34页
·本章小结	第34-35页
第3章扰动观测器的原理与设计	第35-43页
·基本思想	第36页
·结构原理	第36-38页
·扰动观测器的实现	第38-40页
·面向电流的扰动观测器	第38-39页
·面向速度的扰动观测器	第39-40页
·扰动观测器Q滤波器的设计	第40页
·扰动观测器的仿真	第40-42页
·本章小结	第42-43页
第4章扰动观测器的电流与速度检测	第43-52页
·电流检测	第43-47页
·电流检测电路设计	第43-44页
·基于FPGA的FIR滤波器实现	第44-47页
·速度检测	第47-51页
·光栅信号处理电路	第47-48页
·测速方法	第48-51页
·本章小结	第51-52页
第5章实验与数据分析	第52-63页
·系统实验台的建立	第52-55页
·宏微定位工作台	第52-53页
·宏动台单元的选择	第53-54页
·微动台单元的选择	第54-55页
·电流过采样实验	第55-57页
·MT法速度检测实验	第57-59页
·扰动观测器实验	第59-61页
·直线电机定位噪声对比实验	第61-62页
·本章小结	第62-63页
结论	第63-65页
参考文献	第65-70页
致谢	第70页

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