|
|
|
|
等离子体发射光谱及其在ZnO薄膜生长中的应用 |
| |
| 论文目录 |
| |
| 摘要 | 第1-5页 | | Abstract | 第5-8页 | | 1 绪论 | 第8-13页 | | ·等离子体的基本特征 | 第8-9页 | | ·等离子体诊断方法的分类 | 第9页 | | ·等离子体光谱学的发展 | 第9-11页 | | ·等离子体相关学科的发展提出了新的诊断领域 | 第11页 | | ·本文的研究内容和目标 | 第11-13页 | | 2 发射光谱概述 | 第13-27页 | | ·原子光谱概述 | 第13-17页 | | ·辐射跃迁 | 第13-15页 | | ·谱线宽度与线型 | 第15-17页 | | ·分子光谱 | 第17-21页 | | ·分子的转动光谱 | 第18-19页 | | ·分子的振动光谱 | 第19-20页 | | ·分子的电子光谱 | 第20-21页 | | ·等离子体温度的测量 | 第21-23页 | | ·Thomson散射法测电子温度 | 第21-22页 | | ·发射谱线的Doppler展宽法测原子温度 | 第22页 | | ·两谱线法或波尔兹曼斜率法测激发温度 | 第22页 | | ·分子振转谱线强度法和等强度法测量分子转动温度 | 第22-23页 | | ·等离子体发射光谱的自吸收现象和空间分辨 | 第23-27页 | | ·等离子体的自吸与光学薄体系 | 第23-24页 | | ·光学薄体系等离子体的空间分辨发射光谱的测量方法 | 第24-27页 | | 3 发射光谱研究磁场增强感应合等离子体源 | 第27-38页 | | ·磁场增强感应耦合等离子体源的研究背景 | 第27页 | | ·实验装置 | 第27-28页 | | ·实验结果及分析 | 第28-32页 | | ·分子光谱的相对强度模拟 | 第32-36页 | | ·其他天线类型比较 | 第36-37页 | | ·小结 | 第37-38页 | | 4 脉冲磁控溅射ZnO薄膜生长的等离子体发射光谱研究 | 第38-44页 | | ·研究背景 | 第38-39页 | | ·实验方法 | 第39页 | | ·结果与分析 | 第39-43页 | | ·发射光谱随氧气流量比例的变化 | 第39-42页 | | ·发射光谱随沉积温度的变化 | 第42-43页 | | ·小结 | 第43-44页 | | 5 射频磁控溅射ZnO薄膜生长的等离子体发射光谱研究 | 第44-55页 | | ·脉冲源与射频源发射光谱的不同 | 第44-46页 | | ·发射光谱随氧气流量比例的变化 | 第46页 | | ·发射光谱随沉积温度的变化 | 第46-48页 | | ·薄膜沉积速率和光学常数的变化 | 第48-53页 | | ·透射光谱的分析方法 | 第48-49页 | | ·拟合的结果与分析 | 第49-53页 | | ·沉积温度对ZnO薄膜结晶质量和光学性能的影响 | 第53-54页 | | ·小结 | 第54-55页 | | 结论 | 第55-56页 | | 参考文献 | 第56-61页 | | 致谢 | 第61-62页 | | 大连理工大学学位论文版权使用授权书 | 第62页 |
|
|
|
|
论文编号BS1195735，这篇论文共62页
会员购买按0.35元/页下载，共需支付21.7元。 直接购买按0.5元/页下载，共需要支付31元 。 |
 |
 |
我还不是会员，注册会员！
会员下载更优惠!充值送钱！ |
我只需要这篇，无需注册！
直接网上支付，方便快捷！ |
|
|
|
版权申明：本目录由www.jylw.com网站制作，本站并未收录原文，如果您是作者，需要删除本篇论文目录请通过QQ或其它联系方式告知我们，我们承诺24小时内删除。 |
|
|
广告服务